વિષયસુચીકોષ્ટક
૧. FOUP ની ઝાંખી અને મુખ્ય કાર્યો
2. FOUP ની રચના અને ડિઝાઇન સુવિધાઓ
૩. FOUP ના વર્ગીકરણ અને એપ્લિકેશન માર્ગદર્શિકા
૪. સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં FOUP નું સંચાલન અને મહત્વ
૫.ટેકનિકલ પડકારો અને ભવિષ્યના વિકાસના વલણો
6.XKH ના કસ્ટમાઇઝ્ડ સોલ્યુશન્સ અને સર્વિસ સપોર્ટ
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, ફ્રન્ટ ઓપનિંગ યુનિફાઇડ પોડ (FOUP) એ વેફર્સને સુરક્ષિત કરવા, પરિવહન કરવા અને સંગ્રહિત કરવા માટે વપરાતું એક મહત્વપૂર્ણ કન્ટેનર છે. તેના આંતરિક ભાગમાં 300mm વેફરના 25 ટુકડાઓ સમાવી શકાય છે, અને તેના મુખ્ય ઘટકોમાં ફ્રન્ટ-ઓપનિંગ કન્ટેનર અને ખોલવા અને બંધ કરવા માટે સમર્પિત દરવાજાની ફ્રેમ શામેલ છે. FOUP એ 12 ઇંચના વેફર ફેબ્સની અંદર સ્વચાલિત પરિવહન પ્રણાલીમાં એક મુખ્ય વાહક છે. તે સામાન્ય રીતે બંધ સ્થિતિમાં પરિવહન થાય છે અને જ્યારે ઉપકરણ લોડ પોર્ટ પર દબાણ કરવામાં આવે છે ત્યારે જ ખુલે છે, જેનાથી વેફર્સને ઉપકરણના લોડિંગ/અનલોડિંગ પોર્ટમાં સ્થાનાંતરિત કરી શકાય છે.
FOUP ની ડિઝાઇન સૂક્ષ્મ-પર્યાવરણ જરૂરિયાતોને અનુરૂપ છે. તેમાં વેફર દાખલ કરવા માટે પાછળના ભાગમાં સ્લોટ્સ છે, અને ઢાંકણ ખાસ કરીને ઓપનરના ક્લેમ્પ સાથે મેળ ખાય તે રીતે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યું છે. વેફર-હેન્ડલિંગ રોબોટ્સ વર્ગ 1 સ્વચ્છ હવા વાતાવરણમાં કાર્ય કરે છે, ખાતરી કરે છે કે ટ્રાન્સમિશન દરમિયાન વેફર્સ દૂષિત ન થાય. વધુમાં, FOUP ને ઓટોમેટેડ મટિરિયલ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ (AMHS) દ્વારા પ્રક્રિયા સાધનો વચ્ચે ખસેડવામાં આવે છે. આધુનિક વેફર ફેબ્સ મોટે ભાગે પરિવહન માટે ઓવરહેડ રેલ સિસ્ટમનો ઉપયોગ કરે છે, જ્યારે કેટલાક જૂના ફેબ્સ ગ્રાઉન્ડ-બેઝ્ડ ઓટોમેટેડ ગાઇડેડ વાહનો (AGVs) નો ઉપયોગ કરી શકે છે.
FOUP ફક્ત ઓટોમેટેડ વેફર ટ્રાન્સફરને સક્ષમ કરતું નથી પણ સ્ટોરેજ ફંક્શન પણ કરે છે. અસંખ્ય ઉત્પાદન પગલાંને કારણે, વેફર્સને સમગ્ર પ્રક્રિયા પૂર્ણ કરવામાં મહિનાઓ લાગી શકે છે. ઉચ્ચ માસિક ઉત્પાદન વોલ્યુમ સાથે, આનો અર્થ એ છે કે ફેબમાં હજારો વેફર કોઈપણ સમયે સતત પરિવહન અથવા કામચલાઉ સંગ્રહમાં હોય છે. સંગ્રહ દરમિયાન, FOUP ને સમયાંતરે નાઇટ્રોજનથી શુદ્ધ કરવામાં આવે છે જેથી દૂષકો વેફરના સંપર્કમાં આવતા અટકાવી શકાય, જે સ્વચ્છ અને વિશ્વસનીય ઉત્પાદન પ્રક્રિયાને સુનિશ્ચિત કરે છે.
૧. FOUP ના કાર્યો અને મહત્વ
FOUP નું મુખ્ય કાર્ય વેફર્સને બાહ્ય આંચકા અને દૂષણથી બચાવવાનું છે, ખાસ કરીને ટ્રાન્સફર દરમિયાન ઉપજ પર થતી અસરોને ટાળવાનું. તે ગેસ શુદ્ધિકરણ અને સ્થાનિક વાતાવરણ નિયંત્રણ (LAC) જેવી પદ્ધતિઓ દ્વારા ભેજને અસરકારક રીતે અટકાવે છે, ખાતરી કરે છે કે વેફર આગામી ઉત્પાદન પગલાની રાહ જોતી વખતે સલામત સ્થિતિમાં રહે. તેની સીલબંધ અને નિયંત્રિત સિસ્ટમ ફક્ત જરૂરી સંયોજનો અને તત્વોને પ્રવેશવાની મંજૂરી આપે છે, જે વેફર પર VOC, ઓક્સિજન અને ભેજની પ્રતિકૂળ અસરોને નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડે છે.
25 વેફર્સથી ભરેલા FOUPનું વજન 9 કિલોગ્રામ સુધી હોઈ શકે છે, તેથી તેનું પરિવહન ઓટોમેટેડ મટિરિયલ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ (AMHS) પર આધાર રાખવો જોઈએ. આને સરળ બનાવવા માટે, FOUP કપલિંગ પ્લેટ્સ, પિન અને છિદ્રોના વિવિધ સંયોજનો સાથે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યું છે, અને સરળ ઓળખ અને વર્ગીકરણ માટે RFID ઇલેક્ટ્રોનિક ટૅગ્સથી સજ્જ છે. આ ઓટોમેટેડ હેન્ડલિંગ માટે લગભગ કોઈ મેન્યુઅલ ઓપરેશનની જરૂર નથી, જે ભૂલ દરને મોટા પ્રમાણમાં ઘટાડે છે અને ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની સલામતી અને ચોકસાઈમાં વધારો કરે છે.
2. FOUP નું માળખું અને વર્ગીકરણ
FOUP ના લાક્ષણિક પરિમાણો આશરે 420 mm પહોળાઈ, 335 mm ઊંડાઈ અને 335 mm ઊંચાઈ હોય છે. તેના મુખ્ય માળખાકીય ઘટકોમાં શામેલ છે: ઓવરહેડ હોસ્ટ ટ્રાન્સપોર્ટ માટે ટોચનો OHT (મશરૂમ હેડ); સાધનો વેફર એક્સેસ માટે આગળનો દરવાજો; બાજુના હેન્ડલ્સ, ઘણીવાર વિવિધ દૂષણ સ્તરો સાથે પ્રક્રિયા વિસ્તારોને અલગ પાડવા માટે રંગીન કોડેડ; સંદેશ કાર્ડ મૂકવા માટે કાર્ડ વિસ્તાર; અને નીચેનો RFID ટેગ જે FOUP માટે અનન્ય ઓળખકર્તા તરીકે સેવા આપે છે, જે સાધનો અને ઓવરહેડ હોસ્ટ્સને તેને ઓળખવાની મંજૂરી આપે છે. આધાર સાધનો સાથે મેચ કરવા અને પ્રક્રિયા વિસ્તારોને અલગ પાડવા માટે ચાર ઓળખ અને સ્થિતિ છિદ્રોથી પણ સજ્જ છે.
ઉપયોગના આધારે, FOUP ને ત્રણ પ્રકારોમાં વર્ગીકૃત કરવામાં આવે છે: PRD (ઉત્પાદન માટે), ENG (એન્જિનિયરિંગ વેફર્સ માટે), અને MON (મોનિટર વેફર્સ માટે). PRD FOUP નો ઉપયોગ ઉત્પાદન ઉત્પાદન માટે થઈ શકે છે, ENG પ્રકારો R&D અથવા પ્રયોગો માટે યોગ્ય છે, અને MON પ્રકારો CMP અને DIFF જેવા પગલાં માટે પ્રક્રિયા દેખરેખ માટે સમર્પિત છે. એ નોંધવું મહત્વપૂર્ણ છે કે PRD FOUP નો ઉપયોગ ENG અને MON બંને હેતુઓ માટે થઈ શકે છે, અને ENG પ્રકારોનો ઉપયોગ MON માટે થઈ શકે છે, પરંતુ વિપરીત કામગીરી ગુણવત્તા જોખમો ઉભા કરે છે.
દૂષણ સ્તર દ્વારા વર્ગીકૃત, FOUP ને FE FOUP (ફ્રન્ટ-એન્ડ પ્રક્રિયા, મેટલ-ફ્રી), BE FOUP (બેક-એન્ડ પ્રક્રિયા, મેટલ સમાવે છે), અને NI FOUP, CU FOUP, અને CO FOUP જેવી ચોક્કસ ધાતુ પ્રક્રિયાઓ માટે વિશિષ્ટ વિભાજિત કરી શકાય છે. વિવિધ પ્રક્રિયાઓ માટેના FOUP ને સામાન્ય રીતે બાજુના હેન્ડલ્સ અથવા દરવાજાના પેનલના રંગ દ્વારા અલગ પાડવામાં આવે છે. ફ્રન્ટ-એન્ડ પ્રક્રિયાઓમાંથી FOUP નો ઉપયોગ બેક-એન્ડ પ્રક્રિયાઓમાં થઈ શકે છે, પરંતુ બેક-એન્ડ FOUP નો ઉપયોગ ક્યારેય ફ્રન્ટ-એન્ડ પ્રક્રિયાઓમાં થવો જોઈએ નહીં, કારણ કે આ દૂષણના જોખમોનું કારણ બનશે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં મુખ્ય વાહક તરીકે, FOUP, ઉચ્ચ ઓટોમેશન અને કડક દૂષણ નિયંત્રણ દ્વારા, ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફર્સની સલામતી અને સ્વચ્છતાની ખાતરી કરે છે, જે તેને આધુનિક વેફર ફેબ્સમાં એક અનિવાર્ય માળખાગત સુવિધા બનાવે છે.
નિષ્કર્ષ
XKH ગ્રાહકોને ખૂબ જ કસ્ટમાઇઝ્ડ ફ્રન્ટ-ઓપનિંગ યુનિફાઇડ પોડ (FOUP) સોલ્યુશન્સ પ્રદાન કરવા માટે પ્રતિબદ્ધ છે, જે તમારી ચોક્કસ પ્રક્રિયા આવશ્યકતાઓ અને સાધનો ઇન્ટરફેસ સ્પષ્ટીકરણોનું સખતપણે પાલન કરે છે. અદ્યતન સામગ્રી તકનીક અને ચોકસાઇ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓનો ઉપયોગ કરીને, અમે ખાતરી કરીએ છીએ કે દરેક FOUP ઉત્પાદન અસાધારણ હવાચુસ્તતા, સ્વચ્છતા અને યાંત્રિક સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. અમારી તકનીકી ટીમ પાસે ઊંડી ઉદ્યોગ કુશળતા છે, જે વ્યાપક જીવનચક્ર સપોર્ટ પ્રદાન કરે છે - પસંદગી પરામર્શ અને માળખાકીય ઑપ્ટિમાઇઝેશનથી લઈને સફાઈ અને જાળવણી સુધી - FOUP અને તમારી ઓટોમેટેડ મટિરિયલ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ (AMHS) તેમજ પ્રોસેસિંગ સાધનો વચ્ચે સીમલેસ એકીકરણ અને કાર્યક્ષમ સહયોગ સુનિશ્ચિત કરે છે. અમે અમારા મુખ્ય ઉદ્દેશ્યો તરીકે વેફર્સની સલામતી અને ઉત્પાદન ઉપજમાં વધારો કરવાને સતત પ્રાથમિકતા આપીએ છીએ. નવીન ઉત્પાદનો અને સર્વગ્રાહી તકનીકી સેવાઓ દ્વારા, અમે તમારી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓ માટે મજબૂત ગેરંટી પ્રદાન કરીએ છીએ, આખરે ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા અને ઉત્પાદન ઉપજમાં વધારો કરીએ છીએ.
પોસ્ટ સમય: સપ્ટેમ્બર-૦૮-૨૦૨૫