સેમિકન્ડક્ટર ટેક્નોલોજીના સતત વિકાસ સાથે, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગમાં પણ, વેફર સબસ્ટ્રેટ અથવા એપિટેક્સિયલ શીટની સપાટીની ગુણવત્તા માટેની જરૂરિયાતો પણ ખૂબ જ કડક છે.તો, વેફર માટે ગુણવત્તાની જરૂરિયાતો શું છે?નીલમ વેફરને ઉદાહરણ તરીકે લેતા, વેફરની સપાટીની ગુણવત્તાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે કયા સૂચકાંકોનો ઉપયોગ કરી શકાય?
વેફર્સ મૂલ્યાંકન સૂચકાંકો શું છે?
ત્રણ સૂચકાંકો
નીલમ વેફર્સ માટે, તેના મૂલ્યાંકન સૂચકાંકો કુલ જાડાઈ વિચલન (ટીટીવી), વળાંક (ધનુષ્ય) અને વાર્પ (વાર્પ) છે.આ ત્રણ પરિમાણો એકસાથે સિલિકોન વેફરની સપાટતા અને જાડાઈની એકરૂપતાને પ્રતિબિંબિત કરે છે, અને વેફરની લહેરિયાંની ડિગ્રીને માપી શકે છે.વેફર સપાટીની ગુણવત્તાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે લહેરિયુંને સપાટતા સાથે જોડી શકાય છે.
TTV, BOW, Warp શું છે?
TTV (કુલ જાડાઈ ભિન્નતા)
TTV એ વેફરની મહત્તમ અને લઘુત્તમ જાડાઈ વચ્ચેનો તફાવત છે.આ પરિમાણ એક મહત્વપૂર્ણ સૂચકાંક છે જેનો ઉપયોગ વેફરની જાડાઈની એકરૂપતાને માપવા માટે થાય છે.સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયામાં, વેફરની જાડાઈ સમગ્ર સપાટી પર ખૂબ જ સમાન હોવી જોઈએ.માપન સામાન્ય રીતે વેફર પર પાંચ સ્થળોએ કરવામાં આવે છે અને તફાવતની ગણતરી કરવામાં આવે છે.આખરે, વેફરની ગુણવત્તા નક્કી કરવા માટે આ મૂલ્ય મહત્ત્વનો આધાર છે.
નમન
સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ધનુષ એ વેફરના વળાંકનો સંદર્ભ આપે છે, જે અનક્લેમ્પ્ડ વેફરના મધ્યબિંદુ અને સંદર્ભ વિમાન વચ્ચેના અંતરને મુક્ત કરે છે.આ શબ્દ સંભવતઃ ધનુષના વક્ર આકારની જેમ કોઈ વસ્તુના આકારના વર્ણન પરથી આવ્યો છે જ્યારે તે વળેલું હોય છે.સિલિકોન વેફરના કેન્દ્ર અને કિનારી વચ્ચેના વિચલનને માપીને ધનુષનું મૂલ્ય નિર્ધારિત કરવામાં આવે છે.આ મૂલ્ય સામાન્ય રીતે માઇક્રોમીટર (µm) માં દર્શાવવામાં આવે છે.
વાર્પ
વાર્પ એ વેફર્સની વૈશ્વિક મિલકત છે જે મુક્તપણે અનક્લેમ્પ્ડ વેફર અને રેફરન્સ પ્લેન વચ્ચેના મહત્તમ અને ન્યૂનતમ અંતર વચ્ચેના તફાવતને માપે છે.સિલિકોન વેફરની સપાટીથી પ્લેન સુધીના અંતરનું પ્રતિનિધિત્વ કરે છે.
TTV, Bow, Warp વચ્ચે શું તફાવત છે?
TTV જાડાઈમાં થતા ફેરફારો પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે અને વેફરના વળાંક અથવા વિકૃતિ સાથે સંબંધિત નથી.
બોવ એકંદરે વળાંક પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, મુખ્યત્વે કેન્દ્ર બિંદુ અને ધારના વળાંકને ધ્યાનમાં લેતા.
વાર્પ વધુ વ્યાપક છે, જેમાં સમગ્ર વેફર સપાટીને બેન્ડિંગ અને ટ્વિસ્ટિંગનો સમાવેશ થાય છે.
આ ત્રણ પરિમાણો સિલિકોન વેફરના આકાર અને ભૌમિતિક ગુણધર્મો સાથે સંબંધિત હોવા છતાં, તે અલગ રીતે માપવામાં આવે છે અને તેનું વર્ણન કરવામાં આવે છે, અને સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા અને વેફર પ્રક્રિયા પર તેમની અસર પણ અલગ છે.
ત્રણ પેરામીટર જેટલા નાના, વધુ સારા અને મોટા પેરામીટર, સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા પર નકારાત્મક અસર જેટલી વધારે છે.તેથી, સેમિકન્ડક્ટર પ્રેક્ટિશનર તરીકે, આપણે સમગ્ર પ્રક્રિયા પ્રક્રિયા માટે વેફર પ્રોફાઇલ પરિમાણોના મહત્વને સમજવું જોઈએ, સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા કરવી જોઈએ, વિગતો પર ધ્યાન આપવું જોઈએ.
(સેન્સરિંગ)
પોસ્ટ સમય: જૂન-24-2024