સેમિકન્ડક્ટર ટેકનોલોજીના સતત વિકાસ સાથે, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગમાં પણ, વેફર સબસ્ટ્રેટ અથવા એપિટેક્સિયલ શીટની સપાટીની ગુણવત્તા માટેની આવશ્યકતાઓ ખૂબ જ કડક છે. તો, વેફર માટે ગુણવત્તાની આવશ્યકતાઓ શું છે?નીલમ વેફરઉદાહરણ તરીકે, વેફરની સપાટીની ગુણવત્તાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે કયા સૂચકાંકોનો ઉપયોગ કરી શકાય છે?
વેફર્સ મૂલ્યાંકન સૂચકાંકો શું છે?
ત્રણ સૂચકાંકો
નીલમ વેફર્સ માટે, તેના મૂલ્યાંકન સૂચકાંકો કુલ જાડાઈ વિચલન (TTV), વળાંક (ધનુષ્ય) અને વાર્પ (વાર્પ) છે. આ ત્રણ પરિમાણો એકસાથે સિલિકોન વેફરની સપાટતા અને જાડાઈ એકરૂપતાને પ્રતિબિંબિત કરે છે, અને વેફરની લહેરની ડિગ્રી માપી શકે છે. વેફર સપાટીની ગુણવત્તાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે લહેરિયુંને સપાટતા સાથે જોડી શકાય છે.
ટીટીવી, બો, વાર્પ શું છે?
ટીટીવી (કુલ જાડાઈમાં ફેરફાર)
TTV એ વેફરની મહત્તમ અને લઘુત્તમ જાડાઈ વચ્ચેનો તફાવત છે. આ પરિમાણ વેફર જાડાઈ એકરૂપતા માપવા માટે વપરાતો એક મહત્વપૂર્ણ સૂચક છે. સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયામાં, વેફરની જાડાઈ સમગ્ર સપાટી પર ખૂબ જ સમાન હોવી જોઈએ. માપન સામાન્ય રીતે વેફર પર પાંચ સ્થળોએ કરવામાં આવે છે અને તફાવતની ગણતરી કરવામાં આવે છે. આખરે, આ મૂલ્ય વેફરની ગુણવત્તાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે એક મહત્વપૂર્ણ આધાર છે.
ધનુષ્ય
સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં બો એ વેફરના વળાંકનો ઉલ્લેખ કરે છે, જે અનક્લેમ્પ્ડ વેફરના મધ્યબિંદુ અને સંદર્ભ સમતલ વચ્ચેનું અંતર મુક્ત કરે છે. આ શબ્દ કદાચ કોઈ વસ્તુના આકારના વર્ણનમાંથી આવ્યો છે જ્યારે તે વળેલી હોય છે, જેમ કે ધનુષ્યનો વક્ર આકાર. બો મૂલ્ય સિલિકોન વેફરના કેન્દ્ર અને ધાર વચ્ચેના વિચલનને માપીને વ્યાખ્યાયિત કરવામાં આવે છે. આ મૂલ્ય સામાન્ય રીતે માઇક્રોમીટર (µm) માં વ્યક્ત થાય છે.
વાર્પ
વાર્પ એ વેફરનો વૈશ્વિક ગુણધર્મ છે જે મુક્તપણે અનક્લેમ્પ્ડ વેફરના મધ્ય ભાગ અને સંદર્ભ સમતલ વચ્ચેના મહત્તમ અને લઘુત્તમ અંતર વચ્ચેના તફાવતને માપે છે. સિલિકોન વેફરની સપાટીથી સમતલ સુધીનું અંતર દર્શાવે છે.
ટીટીવી, બો, વાર્પ વચ્ચે શું તફાવત છે?
TTV જાડાઈમાં થતા ફેરફારો પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે અને વેફરના વળાંક અથવા વિકૃતિ સાથે સંબંધિત નથી.
ધનુષ્ય એકંદર વળાંક પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, મુખ્યત્વે કેન્દ્ર બિંદુ અને ધારના વળાંકને ધ્યાનમાં લેતા.
વાર્પ વધુ વ્યાપક છે, જેમાં સમગ્ર વેફર સપાટીને વાળવી અને વળી જવી શામેલ છે.
જોકે આ ત્રણેય પરિમાણો સિલિકોન વેફરના આકાર અને ભૌમિતિક ગુણધર્મો સાથે સંબંધિત છે, તે માપવામાં આવે છે અને અલગ રીતે વર્ણવવામાં આવે છે, અને સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા અને વેફર પ્રોસેસિંગ પર તેમની અસર પણ અલગ છે.
ત્રણ પરિમાણો જેટલા નાના હશે, તેટલા સારા હશે, અને પરિમાણ જેટલું મોટું હશે, સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા પર નકારાત્મક અસર એટલી જ વધારે હશે. તેથી, સેમિકન્ડક્ટર પ્રેક્ટિશનર તરીકે, આપણે સમગ્ર પ્રક્રિયા પ્રક્રિયા માટે વેફર પ્રોફાઇલ પરિમાણોનું મહત્વ સમજવું જોઈએ, સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા કરવી જોઈએ, વિગતો પર ધ્યાન આપવું જોઈએ.
(સેન્સરિંગ)
પોસ્ટ સમય: જૂન-24-2024