વેફર્સમાં TTV, BOW, WARP અને TIR નો શું અર્થ થાય છે?

સેમિકન્ડક્ટર સિલિકોન વેફર્સ અથવા અન્ય સામગ્રીઓથી બનેલા સબસ્ટ્રેટ્સની તપાસ કરતી વખતે, આપણે ઘણીવાર તકનીકી સૂચકાંકોનો સામનો કરીએ છીએ જેમ કે: TTV, BOW, WARP, અને કદાચ TIR, STIR, LTV, વગેરે. આ કયા પરિમાણો દર્શાવે છે?

 

TTV — કુલ જાડાઈમાં ફેરફાર
ધનુષ - નમન
WARP - વાર્પ
TIR — કુલ દર્શાવેલ વાંચન
STIR — સાઇટ કુલ સૂચવેલ વાંચન
LTV — સ્થાનિક જાડાઈમાં ફેરફાર

 

૧. કુલ જાડાઈમાં ફેરફાર — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7જ્યારે વેફર ક્લેમ્પ્ડ હોય અને નજીકના સંપર્કમાં હોય ત્યારે સંદર્ભ સમતલની તુલનામાં વેફરની મહત્તમ અને લઘુત્તમ જાડાઈ વચ્ચેનો તફાવત. તે સામાન્ય રીતે માઇક્રોમીટર (μm) માં વ્યક્ત થાય છે, જે ઘણીવાર આ રીતે રજૂ થાય છે: ≤15 μm.

 

2. નમન - નમન

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

જ્યારે વેફર મુક્ત (અનક્લેમ્પ્ડ) સ્થિતિમાં હોય ત્યારે વેફર સપાટીના કેન્દ્ર બિંદુથી સંદર્ભ સમતલ સુધીના લઘુત્તમ અને મહત્તમ અંતર વચ્ચેનું વિચલન. આમાં અંતર્મુખ (નકારાત્મક ધનુષ્ય) અને બહિર્મુખ (હકારાત્મક ધનુષ્ય) બંને કેસનો સમાવેશ થાય છે. તે સામાન્ય રીતે માઇક્રોમીટર (μm) માં વ્યક્ત થાય છે, જે ઘણીવાર આ રીતે રજૂ થાય છે: ≤40 μm.

 

૩. વાર્પ — વાર્પ

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

જ્યારે વેફર મુક્ત (અનક્લેમ્પ્ડ) સ્થિતિમાં હોય ત્યારે વેફર સપાટીથી સંદર્ભ સમતલ (સામાન્ય રીતે વેફરની પાછળની સપાટી) સુધીના લઘુત્તમ અને મહત્તમ અંતર વચ્ચેનું વિચલન. આમાં અંતર્મુખ (નકારાત્મક વાર્પ) અને બહિર્મુખ (હકારાત્મક વાર્પ) કેસ બંનેનો સમાવેશ થાય છે. તે સામાન્ય રીતે માઇક્રોમીટર (μm) માં વ્યક્ત થાય છે, જે ઘણીવાર આ રીતે રજૂ થાય છે: ≤30 μm.

 

૪. કુલ દર્શાવેલ વાંચન — TIR

૮૯૨૩બીસી૫સી૭૩૦૬૬૫૭સી૧ડીએફ૦૧એફએફ૩સીસીએફએફ૬બી૪

 

જ્યારે વેફરને ક્લેમ્પ્ડ કરવામાં આવે છે અને નજીકના સંપર્કમાં હોય છે, ત્યારે ગુણવત્તા ક્ષેત્ર અથવા વેફર સપાટી પરના ચોક્કસ સ્થાનિક પ્રદેશમાં બધા બિંદુઓના ઇન્ટરસેપ્ટ્સના સરવાળાને ન્યૂનતમ કરવા માટે સંદર્ભ પ્લેનનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, ત્યારે TIR એ વેફર સપાટીથી આ સંદર્ભ પ્લેન સુધીના મહત્તમ અને લઘુત્તમ અંતર વચ્ચેનું વિચલન છે.

 

TTV, BOW, WARP, અને TIR જેવા સેમિકન્ડક્ટર મટિરિયલ સ્પેસિફિકેશન્સમાં ઊંડી કુશળતા પર સ્થાપિત, XKH કડક ઉદ્યોગ ધોરણો અનુસાર ચોકસાઇ કસ્ટમ વેફર પ્રોસેસિંગ સેવાઓ પ્રદાન કરે છે. અમે નીલમ, સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC), સિલિકોન વેફર્સ, SOI અને ક્વાર્ટઝ સહિત ઉચ્ચ-પ્રદર્શન સામગ્રીની વિશાળ શ્રેણી સપ્લાય અને સપોર્ટ કરીએ છીએ, જે ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક્સ, પાવર ડિવાઇસ અને MEMS માં અદ્યતન એપ્લિકેશનો માટે અસાધારણ સપાટતા, જાડાઈ સુસંગતતા અને સપાટીની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરે છે. તમારી સૌથી વધુ માંગણી કરતી ડિઝાઇન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરતા વિશ્વસનીય મટિરિયલ સોલ્યુશન્સ અને ચોકસાઇ મશીનિંગ પહોંચાડવા માટે અમારા પર વિશ્વાસ કરો.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


પોસ્ટ સમય: ઓગસ્ટ-29-2025