8 ઇંચ SiC પ્રોડક્શન ગ્રેડ વેફર 4H-N SiC સબસ્ટ્રેટ
નીચેનું કોષ્ટક અમારા 8 ઇંચના SiC વેફરના સ્પષ્ટીકરણો દર્શાવે છે:
| 8 ઇંચ N-ટાઇપ SiC DSP સ્પેક્સ | |||||
| નંબર | વસ્તુ | એકમ | ઉત્પાદન | સંશોધન | ડમી |
| ૧: પરિમાણો | |||||
| ૧.૧ | પોલીટાઇપ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ૧.૨ | સપાટી દિશા | ° | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 |
| 2: ઇલેક્ટ્રિકલ પરિમાણ | |||||
| ૨.૧ | ડોપન્ટ | -- | n-પ્રકાર નાઇટ્રોજન | n-પ્રકાર નાઇટ્રોજન | n-પ્રકાર નાઇટ્રોજન |
| ૨.૨ | પ્રતિકારકતા | ઓહ્મ ·સેમી | ૦.૦૧૫~૦.૦૨૫ | ૦.૦૧~૦.૦૩ | NA |
| ૩: યાંત્રિક પરિમાણ | |||||
| ૩.૧ | વ્યાસ | mm | ૨૦૦±૦.૨ | ૨૦૦±૦.૨ | ૨૦૦±૦.૨ |
| ૩.૨ | જાડાઈ | μm | ૫૦૦±૨૫ | ૫૦૦±૨૫ | ૫૦૦±૨૫ |
| ૩.૩ | નોચ ઓરિએન્ટેશન | ° | [૧- ૧૦૦]±૫ | [૧- ૧૦૦]±૫ | [૧- ૧૦૦]±૫ |
| ૩.૪ | ખાંચની ઊંડાઈ | mm | ૧~૧.૫ | ૧~૧.૫ | ૧~૧.૫ |
| ૩.૫ | એલટીવી | μm | ≤5(૧૦ મીમી*૧૦ મીમી) | ≤5(૧૦ મીમી*૧૦ મીમી) | ≤૧૦(૧૦ મીમી*૧૦ મીમી) |
| ૩.૬ | ટીટીવી | μm | ≤૧૦ | ≤૧૦ | ≤15 |
| ૩.૭ | ધનુષ્ય | μm | -૨૫~૨૫ | -૪૫~૪૫ | -૬૫~૬૫ |
| ૩.૮ | વાર્પ | μm | ≤30 | ≤૫૦ | ≤૭૦ |
| ૩.૯ | એએફએમ | nm | રા≤0.2 | રા≤0.2 | રા≤0.2 |
| ૪: રચના | |||||
| ૪.૧ | માઇક્રોપાઇપ ઘનતા | ઇએ/સેમી2 | ≤2 | ≤૧૦ | ≤૫૦ |
| ૪.૨ | ધાતુ સામગ્રી | અણુઓ/સેમી2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| ૪.૩ | ટીએસડી | ઇએ/સેમી2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| ૪.૪ | બીપીડી | ઇએ/સેમી2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| ૪.૫ | ટેડ | ઇએ/સેમી2 | ≤૭૦૦૦ | ≤૧૦૦૦૦ | NA |
| ૫.ફ્રન્ટ ગુણવત્તા | |||||
| ૫.૧ | આગળનો ભાગ | -- | Si | Si | Si |
| ૫.૨ | સપાટી પૂર્ણાહુતિ | -- | સી-ફેસ સીએમપી | સી-ફેસ સીએમપી | સી-ફેસ સીએમપી |
| ૫.૩ | કણ | ઇએ/વેફર | ≤100(કદ≥0.3μm) | NA | NA |
| ૫.૪ | ખંજવાળ | ઇએ/વેફર | ≤5, કુલ લંબાઈ≤200 મીમી | NA | NA |
| ૫.૫ | ધાર ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ્સ/તિરાડો/ડાઘ/દૂષણ | -- | કોઈ નહીં | કોઈ નહીં | NA |
| ૫.૬ | પોલીટાઇપ વિસ્તારો | -- | કોઈ નહીં | વિસ્તાર ≤10% | વિસ્તાર ≤30% |
| ૫.૭ | આગળનું ચિહ્ન | -- | કોઈ નહીં | કોઈ નહીં | કોઈ નહીં |
| ૬:પાછળની ગુણવત્તા | |||||
| ૬.૧ | બેક ફિનિશ | -- | સી-ફેસ એમપી | સી-ફેસ એમપી | સી-ફેસ એમપી |
| ૬.૨ | ખંજવાળ | mm | NA | NA | NA |
| ૬.૩ | પાછળની ખામી ધાર ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ્સ | -- | કોઈ નહીં | કોઈ નહીં | NA |
| ૬.૪ | પીઠની ખરબચડીપણું | nm | રા≤5 | રા≤5 | રા≤5 |
| ૬.૫ | પાછળ માર્કિંગ | -- | નોચ | નોચ | નોચ |
| ૭: ધાર | |||||
| ૭.૧ | ધાર | -- | ચેમ્ફર | ચેમ્ફર | ચેમ્ફર |
| 8:પેકેજ | |||||
| ૮.૧ | પેકેજિંગ | -- | વેક્યુમ સાથે એપી-રેડી પેકેજિંગ | વેક્યુમ સાથે એપી-રેડી પેકેજિંગ | વેક્યુમ સાથે એપી-રેડી પેકેજિંગ |
| ૮.૨ | પેકેજિંગ | -- | મલ્ટી-વેફર કેસેટ પેકેજિંગ | મલ્ટી-વેફર કેસેટ પેકેજિંગ | મલ્ટી-વેફર કેસેટ પેકેજિંગ |
વિગતવાર આકૃતિ
સંબંધિત વસ્તુઓ
તમારો સંદેશ અહીં લખો અને અમને મોકલો.