સેમિકન્ડક્ટર અને ક્લીનરૂમ ઓટોમેશન માટે ઉચ્ચ-પ્રદર્શન એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર (ફોર્ક આર્મ)
વિગતવાર આકૃતિ


ઉત્પાદન પરિચય

એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર, જેને સિરામિક ફોર્ક આર્મ અથવા રોબોટિક સિરામિક હેન્ડ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે એક ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા હેન્ડલિંગ ઘટક છે જે સેમિકન્ડક્ટર, ફોટોવોલ્ટેઇક, પેનલ ડિસ્પ્લે અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પ્રયોગશાળા વાતાવરણમાં સ્વચાલિત સિસ્ટમો માટે રચાયેલ છે. તે અસાધારણ થર્મલ સ્થિરતા, યાંત્રિક કઠોરતા અને રાસાયણિક પ્રતિકાર પ્રદાન કરવા માટે રચાયેલ છે, જે સિલિકોન વેફર્સ, ગ્લાસ સબસ્ટ્રેટ્સ અને ઇલેક્ટ્રોનિક માઇક્રો-કમ્પોનન્ટ્સ જેવા સંવેદનશીલ પદાર્થોનું સ્વચ્છ, વિશ્વસનીય અને સલામત પરિવહન પ્રદાન કરે છે.
રોબોટિક એન્ડ ઇફેક્ટરના એક પ્રકાર તરીકે, આ સિરામિક ઘટક ઓટોમેશન સિસ્ટમ અને વર્કપીસ વચ્ચેનો અંતિમ ઇન્ટરફેસ છે. તે સ્વચ્છ રૂમ અને વેક્યુમ વાતાવરણમાં ચોકસાઇ ટ્રાન્સફર, ગોઠવણી, લોડિંગ/અનલોડિંગ અને પોઝિશનિંગ કાર્યોમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.
સામગ્રીનો ઝાંખી - એલ્યુમિના સિરામિક (Al₂O₃)
એલ્યુમિના સિરામિક એક અત્યંત સ્થિર અને રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય તકનીકી સિરામિક સામગ્રી છે જે તેના ઉત્તમ યાંત્રિક અને વિદ્યુત ગુણધર્મો માટે જાણીતી છે. આ અંતિમ પ્રભાવકોમાં વપરાતી ઉચ્ચ શુદ્ધતા (≥ 99.5%) એલ્યુમિના ખાતરી કરે છે:
-
ઉચ્ચ કઠિનતા (મોહ્સ 9): હીરા પછી બીજા ક્રમે, એલ્યુમિના અત્યંત ઘસારો પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે.
-
ઉચ્ચ-તાપમાન ક્ષમતા: ૧૬૦૦°C થી ઉપર માળખાકીય અખંડિતતા જાળવી રાખે છે.
-
રાસાયણિક જડતા: એસિડ, આલ્કલી, દ્રાવક અને પ્લાઝ્મા એચિંગ વાતાવરણ સામે પ્રતિરોધક.
-
ઇલેક્ટ્રિકલ ઇન્સ્યુલેશન: ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ અને ઓછા ડાઇલેક્ટ્રિક નુકશાન સાથે.
-
ઓછું થર્મલ વિસ્તરણ: થર્મલ સાયકલિંગ વાતાવરણમાં પરિમાણીય સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.
-
ઓછી કણોની ઉત્પત્તિ: સ્વચ્છ રૂમ સુસંગતતા માટે આવશ્યક (વર્ગ 10 થી વર્ગ 1000).
આ વિશેષતાઓ એલ્યુમિના સિરામિકને દૂષણ-સંવેદનશીલ ઉદ્યોગોમાં મિશન-ક્રિટીકલ કામગીરી માટે આદર્શ બનાવે છે.
કાર્યાત્મક એપ્લિકેશનો
એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરનો ઉપયોગ હાઇ-ટેક ઔદ્યોગિક પ્રક્રિયાઓમાં વ્યાપકપણે થાય છે, ખાસ કરીને જ્યાં પરંપરાગત ધાતુ અથવા પ્લાસ્ટિક સામગ્રી થર્મલ વિસ્તરણ, દૂષણ અથવા કાટની સમસ્યાઓને કારણે ઓછી પડે છે. મુખ્ય એપ્લિકેશન ક્ષેત્રોમાં શામેલ છે:
- સેમિકન્ડક્ટર વેફર ટ્રાન્સફર
- ફોટોલિથોગ્રાફી લોડિંગ અને અનલોડિંગ સિસ્ટમ્સ
- OLED અને LCD લાઇનમાં ગ્લાસ સબસ્ટ્રેટ હેન્ડલિંગ
- સૌર કોષ ઉત્પાદનમાં સ્ફટિકીય સિલિકોન વેફર ટ્રાન્સફર
- ઓટોમેટેડ ઓપ્ટિકલ અથવા માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક નિરીક્ષણ
- વિશ્લેષણાત્મક અથવા બાયોમેડિકલ પ્રયોગશાળાઓમાં નમૂના પરિવહન
- વેક્યુમ પર્યાવરણ ઓટોમેશન સિસ્ટમ્સ
કણો અથવા સ્ટેટિક ચાર્જ દાખલ કર્યા વિના કાર્ય કરવાની તેની ક્ષમતા તેને ક્લીનરૂમ ઓટોમેશનમાં ચોક્કસ રોબોટિક કામગીરી માટે અનિવાર્ય બનાવે છે.

ડિઝાઇન સુવિધાઓ અને કસ્ટમાઇઝેશન
દરેક સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર ચોક્કસ રોબોટિક આર્મ અથવા વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમને ફિટ કરવા માટે બનાવવામાં આવ્યું છે. અમે આના આધારે સંપૂર્ણ કસ્ટમાઇઝેશનને સમર્થન આપીએ છીએ:
-
વેફર કદ સુસંગતતા: 2", 4", 6", 8", 12" અને વધુ
-
સ્લોટ ભૂમિતિ અને અંતર: ધારની પકડ, પાછળની બાજુનો ટેકો, અથવા ખાંચવાળા વેફર ડિઝાઇનને સમાવી શકે છે.
-
સક્શન પોર્ટ: સંપર્ક વિનાના સંચાલન માટે સંકલિત વેક્યુમ છિદ્રો અથવા ચેનલો
-
માઉન્ટિંગ ગોઠવણી: તમારા રોબોટના એન્ડ ટૂલ ફ્લેંજ અનુસાર બનાવેલા છિદ્રો, દોરા, સ્લોટ્સ
-
સપાટીની સારવાર: પોલિશ્ડ, લેપ્ડ અથવા ફાઇન-ગ્રાઉન્ડ ફિનિશ (Ra < 0.2 µm ઉપલબ્ધ)
-
ધાર રક્ષણ: વેફરને નુકસાન ટાળવા માટે ગોળાકાર ખૂણા અથવા ચેમ્ફરિંગ
ગ્રાહકો દ્વારા પૂરા પાડવામાં આવેલ CAD ડ્રોઇંગ અથવા 3D મોડેલનો ઉપયોગ કરીને, અમારા ઇજનેરો વજન, શક્તિ અને સ્વચ્છતા માટે દરેક ફોર્ક આર્મને ઑપ્ટિમાઇઝ કરી શકે છે.

સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સના ફાયદા
લક્ષણ | લાભ |
---|---|
ઉચ્ચ યાંત્રિક કઠોરતા | રોબોટિક લોડિંગ ફોર્સ હેઠળ પરિમાણીય ચોકસાઇ જાળવી રાખે છે. |
ઉત્તમ થર્મલ કામગીરી | ઉચ્ચ-તાપમાન અથવા પ્લાઝ્મા વાતાવરણમાં વિશ્વસનીય રીતે કાર્ય કરે છે |
શૂન્ય ધાતુ દૂષણ | મહત્વપૂર્ણ સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં આયન દૂષણનું કોઈ જોખમ નથી |
ઓછી ઘર્ષણ સપાટી | વેફર અથવા ગ્લાસ સબસ્ટ્રેટ પર સ્ક્રેચનું જોખમ ઘટાડે છે |
એન્ટિ-સ્ટેટિક અને નોન-મેગ્નેટિક | ધૂળને આકર્ષતું નથી અથવા ચુંબકીય-સંવેદનશીલ ઘટકોને અસર કરતું નથી |
લાંબી સેવા જીવન | પુનરાવર્તિત હાઇ-સ્પીડ ઓટોમેશન ચક્રમાં શ્રેષ્ઠ વસ્ત્રો પ્રતિકાર |
અલ્ટ્રા-ક્લીન સુસંગતતા | ISO 14644 ક્લીનરૂમ (ક્લાસ 100 અને નીચે) માટે યોગ્ય. |
પ્લાસ્ટિક અથવા એલ્યુમિનિયમ આર્મ્સની તુલનામાં, એલ્યુમિના સિરામિક ન્યૂનતમ જાળવણી જરૂરિયાતો સાથે નાટકીય રીતે સુધારેલ રાસાયણિક અને ભૌતિક સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે.
મિલકત | મેટલ આર્મ | પ્લાસ્ટિક આર્મ | એલ્યુમિના સિરામિક આર્મ |
---|---|---|---|
કઠિનતા | મધ્યમ | નીચું | ખૂબ જ ઉચ્ચ (મોહસ ૯) |
થર્મલ સ્થિરતા | ≤ ૫૦૦°સે | ≤ ૧૫૦°સે | ≥ ૧૬૦૦°સે |
રાસાયણિક પ્રતિકાર | મધ્યમ | ગરીબ | ઉત્તમ |
સ્વચ્છ રૂમ યોગ્યતા | મધ્યમ | નીચું | ખૂબ જ ઊંચી |
પ્રતિકાર પહેરો | મધ્યમ | નીચું | ઉત્કૃષ્ટ |
ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ | નીચું | મધ્યમ | ઉચ્ચ |
કસ્ટમ મશીનિંગ ચોકસાઇ | મર્યાદિત | મધ્યમ | ઉચ્ચ (±0.01 મીમી શક્ય) |
ટેકનિકલ વિશિષ્ટતાઓ
પરિમાણ | કિંમત |
---|---|
સામગ્રી | ઉચ્ચ શુદ્ધતા એલ્યુમિના (≥ 99.5%) |
કાર્યકારી તાપમાન | ૧૬૦૦°C સુધી |
સપાટીની ખરબચડીતા | રા ≤ 0.2 µm (વૈકલ્પિક) |
સુસંગત વેફર કદ | 2" થી 12" અથવા કસ્ટમ |
સપાટતા સહનશીલતા | ±0.01 મીમી (એપ્લિકેશન આધારિત) |
વેક્યુમ સક્શન સપોર્ટ | વૈકલ્પિક, કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય તેવી ચેનલો |
માઉન્ટિંગ વિકલ્પો | બોલ્ટ-થ્રુ, ફ્લેંજ, સ્લોટેડ છિદ્રો |
વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો (FAQ)
પ્રશ્ન ૧: શું એન્ડ ઇફેક્ટરને હાલની રોબોટિક સિસ્ટમમાં એકીકૃત કરી શકાય છે?
A1:હા. અમે તમારા રોબોટિક ઇન્ટરફેસના આધારે કસ્ટમાઇઝેશનને સપોર્ટ કરીએ છીએ. ચોક્કસ અનુકૂલન માટે તમે અમને CAD ડ્રોઇંગ અથવા ફ્લેંજ પરિમાણો મોકલી શકો છો.
Q2: શું ઉપયોગ દરમિયાન સિરામિક આર્મ સરળતાથી તૂટી જશે?
એ2:જ્યારે સિરામિક સ્વભાવે બરડ હોય છે, ત્યારે અમારી ડિઝાઇન તણાવની સાંદ્રતા ઘટાડવા માટે ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ ભૂમિતિનો ઉપયોગ કરે છે. યોગ્ય ઉપયોગની પરિસ્થિતિઓમાં, તેઓ ધાતુ અથવા પ્લાસ્ટિક કરતાં નોંધપાત્ર રીતે લાંબી સેવા જીવન પ્રદાન કરે છે.
પ્રશ્ન ૩: શું આનો ઉપયોગ અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ અથવા પ્લાઝ્મા એચિંગ ચેમ્બરમાં શક્ય છે?
એ3:હા. એલ્યુમિના સિરામિક ગેસિંગથી મુક્ત, થર્મલી સ્થિર અને કાટ પ્રતિરોધક છે - ઉચ્ચ-વેક્યુમ, પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ અથવા પ્લાઝ્મા વાતાવરણ માટે સંપૂર્ણપણે યોગ્ય.
પ્રશ્ન ૪: આ ઘટકોને કેવી રીતે સાફ અથવા જાળવવામાં આવે છે?
A4:તેમને DI પાણી, આલ્કોહોલ અથવા ક્લીનરૂમ-સુસંગત ડિટર્જન્ટનો ઉપયોગ કરીને સાફ કરી શકાય છે. તેમની રાસાયણિક સ્થિરતા અને નિષ્ક્રિય સપાટીને કારણે કોઈ ખાસ જાળવણીની જરૂર નથી.
અમારા વિશે
XKH ખાસ ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ અને નવી ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના હાઇ-ટેક વિકાસ, ઉત્પાદન અને વેચાણમાં નિષ્ણાત છે. અમારા ઉત્પાદનો ઓપ્ટિકલ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, કન્ઝ્યુમર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને લશ્કરી સેવા આપે છે. અમે સેફાયર ઓપ્ટિકલ ઘટકો, મોબાઇલ ફોન લેન્સ કવર, સિરામિક્સ, LT, સિલિકોન કાર્બાઇડ SIC, ક્વાર્ટઝ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વેફર્સ ઓફર કરીએ છીએ. કુશળ કુશળતા અને અત્યાધુનિક સાધનો સાથે, અમે બિન-માનક ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શ્રેષ્ઠ છીએ, જેનો હેતુ અગ્રણી ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ બનવાનો છે.
