૧૨ ઇંચ નીલમ વેફર સી-પ્લેન એસએસપી/ડીએસપી
વેફર બોક્સનો પરિચય
૧૨-ઇંચના નીલમ વેફરનું ઉત્પાદન એક જટિલ અને વિશિષ્ટ પ્રક્રિયા છે. ૧૨-ઇંચના નીલમ વેફરના ઉત્પાદનમાં સામેલ કેટલાક મુખ્ય પગલાં અહીં આપેલા છે:
બીજ સ્ફટિક તૈયારી: પહેલું પગલું એ બીજ સ્ફટિક તૈયાર કરવાનું છે, જે સિંગલ સ્ફટિક નીલમ ઉગાડવા માટે નમૂના તરીકે કાર્ય કરે છે. યોગ્ય ગોઠવણી અને સપાટીની સરળતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે બીજ સ્ફટિકને કાળજીપૂર્વક આકાર અને પોલિશ કરવામાં આવે છે.
એલ્યુમિનિયમ ઓક્સાઇડનું પીગળવું: ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિનિયમ ઓક્સાઇડ (Al2O3) ને ક્રુસિબલમાં ઓગાળવામાં આવે છે. ક્રુસિબલ સામાન્ય રીતે પ્લેટિનમ અથવા અન્ય નિષ્ક્રિય પદાર્થોથી બનેલું હોય છે જે ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરી શકે છે.
સ્ફટિક વૃદ્ધિ: પીગળેલા એલ્યુમિનિયમ ઓક્સાઇડને પછી તૈયાર કરેલા બીજ સ્ફટિક સાથે સીડ કરવામાં આવે છે અને નિયંત્રિત વાતાવરણ જાળવી રાખીને ધીમે ધીમે ઠંડુ કરવામાં આવે છે. આ પ્રક્રિયા નીલમ સ્ફટિકને સ્તર દ્વારા સ્તર વધવા દે છે, જે એક સ્ફટિક પિંડ બનાવે છે.
પિંડને આકાર આપવો: એકવાર સ્ફટિક ઇચ્છિત કદમાં વધી જાય, પછી તેને ક્રુસિબલમાંથી દૂર કરવામાં આવે છે અને નળાકાર બોલમાં આકાર આપવામાં આવે છે. ત્યારબાદ બોલને કાળજીપૂર્વક પાતળા વેફરમાં કાપવામાં આવે છે.
વેફર પ્રોસેસિંગ: કાપેલા વેફર્સને ઇચ્છિત જાડાઈ, સપાટી પૂર્ણાહુતિ અને ગુણવત્તા પ્રાપ્ત કરવા માટે વિવિધ પ્રક્રિયાઓમાંથી પસાર કરવામાં આવે છે. આમાં સપાટીની ખામીઓને દૂર કરવા અને જરૂરી સપાટતા અને સરળતા પ્રાપ્ત કરવા માટે લેપિંગ, પોલિશિંગ અને રાસાયણિક-યાંત્રિક પ્લાનરાઇઝેશન (CMP) નો સમાવેશ થાય છે.
સફાઈ અને નિરીક્ષણ: પ્રોસેસ્ડ વેફર્સને કોઈપણ દૂષકોને દૂર કરવા માટે સંપૂર્ણ સફાઈ કરવામાં આવે છે. ત્યારબાદ તિરાડો, સ્ક્રેચ અને અશુદ્ધિઓ જેવી ખામીઓ માટે તેનું નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે.
પેકેજિંગ અને શિપમેન્ટ: અંતે, નિરીક્ષણ કરાયેલ વેફરને પેક કરવામાં આવે છે અને ગ્રાહકોને શિપમેન્ટ માટે તૈયાર કરવામાં આવે છે, સામાન્ય રીતે વેફર કેરિયર્સમાં જે પરિવહન દરમિયાન રક્ષણ પૂરું પાડે છે.
એ નોંધવું મહત્વપૂર્ણ છે કે 12-ઇંચના નીલમ વેફરના ઉત્પાદન માટે નાના વેફર કદની તુલનામાં વિશિષ્ટ સાધનો અને સુવિધાઓની જરૂર પડી શકે છે. આ પ્રક્રિયામાં મોટા વેફરની અખંડિતતા અને ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ધાર બાકાત રાખવા અને તણાવ વ્યવસ્થાપન જેવી અદ્યતન તકનીકોનો પણ સમાવેશ થઈ શકે છે.
જો તમને નીલમ સબસ્ટ્રેટની જરૂર હોય, તો કૃપા કરીને સંપર્ક કરો:
મેઇલ:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+૮૬ ૧૮૭ ૦૧૭૫ ૬૫૨૨
અમે જલદીથી તમારો સંપર્ક કરીશું!
વિગતવાર આકૃતિ

