SiC સિરામિક ફોર્ક આર્મ / એન્ડ ઇફેક્ટર - સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે અદ્યતન ચોકસાઇ હેન્ડલિંગ

ટૂંકું વર્ણન:

SiC સિરામિક ફોર્ક આર્મ, જેને ઘણીવાર સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર તરીકે ઓળખવામાં આવે છે, તે એક ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ચોકસાઇ હેન્ડલિંગ ઘટક છે જે ખાસ કરીને હાઇ-ટેક ઉદ્યોગોમાં, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉત્પાદનમાં વેફર ટ્રાન્સપોર્ટ, ગોઠવણી અને સ્થિતિ માટે વિકસાવવામાં આવ્યું છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સનો ઉપયોગ કરીને બનાવવામાં આવેલ, આ ઘટક અસાધારણ યાંત્રિક શક્તિ, અલ્ટ્રા-લો થર્મલ વિસ્તરણ અને થર્મલ શોક અને કાટ માટે શ્રેષ્ઠ પ્રતિકારને જોડે છે.


સુવિધાઓ

વિગતવાર આકૃતિ

4_副本
3_副本

ઉત્પાદન સમાપ્તview

SiC સિરામિક ફોર્ક આર્મ, જેને ઘણીવાર સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર તરીકે ઓળખવામાં આવે છે, તે એક ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ચોકસાઇ હેન્ડલિંગ ઘટક છે જે ખાસ કરીને હાઇ-ટેક ઉદ્યોગોમાં, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉત્પાદનમાં વેફર ટ્રાન્સપોર્ટ, ગોઠવણી અને સ્થિતિ માટે વિકસાવવામાં આવ્યું છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સનો ઉપયોગ કરીને બનાવવામાં આવેલ, આ ઘટક અસાધારણ યાંત્રિક શક્તિ, અલ્ટ્રા-લો થર્મલ વિસ્તરણ અને થર્મલ શોક અને કાટ માટે શ્રેષ્ઠ પ્રતિકારને જોડે છે.

એલ્યુમિનિયમ, સ્ટેનલેસ સ્ટીલ અથવા તો ક્વાર્ટઝથી બનેલા પરંપરાગત એન્ડ ઇફેક્ટર્સથી વિપરીત, SiC સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સ વેક્યુમ ચેમ્બર, ક્લીનરૂમ અને કઠોર પ્રોસેસિંગ વાતાવરણમાં અજોડ કામગીરી પ્રદાન કરે છે, જે તેમને આગામી પેઢીના વેફર હેન્ડલિંગ રોબોટ્સનો મુખ્ય ભાગ બનાવે છે. દૂષણ-મુક્ત ઉત્પાદનની વધતી માંગ અને ચિપમેકિંગમાં કડક સહિષ્ણુતા સાથે, સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સનો ઉપયોગ ઝડપથી ઉદ્યોગ માનક બની રહ્યો છે.

ઉત્પાદન સિદ્ધાંત

નું નિર્માણSiC સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સઉચ્ચ-ચોકસાઇ, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પ્રક્રિયાઓની શ્રેણીનો સમાવેશ થાય છે જે કામગીરી અને ટકાઉપણું બંને સુનિશ્ચિત કરે છે. સામાન્ય રીતે બે મુખ્ય પ્રક્રિયાઓનો ઉપયોગ થાય છે:

રિએક્શન-બોન્ડેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (RB-SiC)

આ પ્રક્રિયામાં, સિલિકોન કાર્બાઇડ પાવડર અને બાઈન્ડરમાંથી બનાવેલ પ્રીફોર્મને ઊંચા તાપમાને (~1500°C) પીગળેલા સિલિકોનથી ઘૂસાડવામાં આવે છે, જે શેષ કાર્બન સાથે પ્રતિક્રિયા કરીને ગાઢ, કઠોર SiC-Si કમ્પોઝિટ બનાવે છે. આ પદ્ધતિ ઉત્તમ પરિમાણીય નિયંત્રણ પ્રદાન કરે છે અને મોટા પાયે ઉત્પાદન માટે ખર્ચ-અસરકારક છે.

પ્રેશરલેસ સિન્ટર્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (SSiC)

SSiC અતિ-ફાઇન, ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા SiC પાવડરને અત્યંત ઊંચા તાપમાને (>2000°C) ઉમેરણો અથવા બંધનકર્તા તબક્કાનો ઉપયોગ કર્યા વિના સિન્ટર કરીને બનાવવામાં આવે છે. આના પરિણામે લગભગ 100% ઘનતા અને SiC સામગ્રીમાં ઉપલબ્ધ સૌથી વધુ યાંત્રિક અને થર્મલ ગુણધર્મો ધરાવતું ઉત્પાદન મળે છે. તે અલ્ટ્રા-ક્રિટિકલ વેફર હેન્ડલિંગ એપ્લિકેશનો માટે આદર્શ છે.

પ્રક્રિયા પછી

  • ચોકસાઇ CNC મશીનિંગ: ઉચ્ચ સપાટતા અને સમાંતરતા પ્રાપ્ત કરે છે.

  • સપાટી ફિનિશિંગ: ડાયમંડ પોલિશિંગ સપાટીની ખરબચડીતાને <0.02 µm સુધી ઘટાડે છે.

  • નિરીક્ષણ: દરેક ભાગને ચકાસવા માટે ઓપ્ટિકલ ઇન્ટરફેરોમેટ્રી, CMM અને નોન-ડિસ્ટ્રક્ટિવ પરીક્ષણનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે.

આ પગલાં ખાતરી આપે છે કેSiC એન્ડ ઇફેક્ટરસતત વેફર પ્લેસમેન્ટ ચોકસાઈ, ઉત્તમ પ્લેનેરિટી અને ન્યૂનતમ કણોનું ઉત્પાદન પ્રદાન કરે છે.

મુખ્ય લક્ષણો અને ફાયદા

લક્ષણ વર્ણન
અતિ-ઉચ્ચ કઠિનતા વિકર્સ કઠિનતા > 2500 HV, ઘસારો અને ચીપિંગનો પ્રતિકાર કરે છે.
ઓછું થર્મલ વિસ્તરણ CTE ~4.5×10⁻⁶/K, થર્મલ સાયકલિંગમાં પરિમાણીય સ્થિરતાને સક્ષમ કરે છે.
રાસાયણિક જડતા HF, HCl, પ્લાઝ્મા વાયુઓ અને અન્ય કાટ લાગતા એજન્ટો સામે પ્રતિરોધક.
ઉત્તમ થર્મલ શોક પ્રતિકાર વેક્યુમ અને ફર્નેસ સિસ્ટમમાં ઝડપી ગરમી/ઠંડક માટે યોગ્ય.
ઉચ્ચ કઠોરતા અને શક્તિ લાંબા કેન્ટીલીવર્ડ ફોર્ક આર્મ્સને ડિફ્લેક્શન વિના સપોર્ટ કરે છે.
ઓછું ગેસિંગ અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ (UHV) વાતાવરણ માટે આદર્શ.
ISO ક્લાસ 1 ક્લીનરૂમ માટે તૈયાર કણ-મુક્ત કામગીરી વેફરની અખંડિતતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

 

અરજીઓ

SiC સિરામિક ફોર્ક આર્મ / એન્ડ ઇફેક્ટરનો ઉપયોગ એવા ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે થાય છે જેને અત્યંત ચોકસાઇ, સ્વચ્છતા અને રાસાયણિક પ્રતિકારની જરૂર હોય છે. મુખ્ય એપ્લિકેશન પરિસ્થિતિઓમાં શામેલ છે:

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન

  • ડિપોઝિશન (CVD, PVD), એચિંગ (RIE, DRIE), અને ક્લિનિંગ સિસ્ટમ્સમાં વેફર લોડિંગ/અનલોડિંગ.

  • FOUPs, કેસેટ અને પ્રક્રિયા સાધનો વચ્ચે રોબોટિક વેફર પરિવહન.

  • થર્મલ પ્રોસેસિંગ અથવા એનેલીંગ દરમિયાન ઉચ્ચ-તાપમાનનું સંચાલન.

ફોટોવોલ્ટેઇક કોષ ઉત્પાદન

  • ઓટોમેટેડ લાઇનમાં નાજુક સિલિકોન વેફર્સ અથવા સૌર સબસ્ટ્રેટ્સનું નાજુક પરિવહન.

ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે (FPD) ઉદ્યોગ

  • OLED/LCD ઉત્પાદન વાતાવરણમાં મોટા કાચના પેનલ અથવા સબસ્ટ્રેટને ખસેડવું.

કમ્પાઉન્ડ સેમિકન્ડક્ટર / MEMS

  • GaN, SiC અને MEMS ફેબ્રિકેશન લાઇનમાં વપરાય છે જ્યાં દૂષણ નિયંત્રણ અને સ્થિતિની ચોકસાઈ મહત્વપૂર્ણ છે.

સંવેદનશીલ કામગીરી દરમિયાન ખામી-મુક્ત, સ્થિર હેન્ડલિંગ સુનિશ્ચિત કરવામાં તેની એન્ડ ઇફેક્ટર ભૂમિકા ખાસ કરીને મહત્વપૂર્ણ છે.

કસ્ટમાઇઝેશન ક્ષમતાઓ

અમે વિવિધ સાધનો અને પ્રક્રિયા જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે વ્યાપક કસ્ટમાઇઝેશન પ્રદાન કરીએ છીએ:

  • ફોર્ક ડિઝાઇન: ટુ-પ્રોંગ, મલ્ટી-ફિંગર અથવા સ્પ્લિટ-લેવલ લેઆઉટ.

  • વેફર કદ સુસંગતતા: ૨” થી ૧૨” વેફર્સ સુધી.

  • માઉન્ટિંગ ઇન્ટરફેસ: OEM રોબોટિક આર્મ્સ સાથે સુસંગત.

  • જાડાઈ અને સપાટી સહનશીલતા: માઇક્રોન-સ્તરની સપાટતા અને ધાર રાઉન્ડિંગ ઉપલબ્ધ છે.

  • એન્ટિ-સ્લિપ સુવિધાઓ: સુરક્ષિત વેફર ગ્રિપ માટે વૈકલ્પિક સપાટીની રચના અથવા કોટિંગ્સ.

દરેકસિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરટૂલિંગમાં ઓછામાં ઓછા ફેરફારો સાથે ચોક્કસ ફિટમેન્ટ સુનિશ્ચિત કરવા માટે ગ્રાહકો સાથે સહ-ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યું છે.

વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો (FAQ)

પ્રશ્ન ૧: એન્ડ ઇફેક્ટર એપ્લિકેશન માટે SiC ક્વાર્ટઝ કરતાં કેવી રીતે સારું છે?
A1:જ્યારે ક્વાર્ટઝનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે તેની શુદ્ધતા માટે થાય છે, તેમાં યાંત્રિક કઠિનતાનો અભાવ હોય છે અને ભાર અથવા તાપમાનના આંચકા હેઠળ તે તૂટવાની સંભાવના ધરાવે છે. SiC શ્રેષ્ઠ શક્તિ, વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે, જે ડાઉનટાઇમ અને વેફર નુકસાનનું જોખમ નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડે છે.

Q2: શું આ સિરામિક ફોર્ક આર્મ બધા રોબોટિક વેફર હેન્ડલર્સ સાથે સુસંગત છે?
એ2:હા, અમારા સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સ મોટાભાગની મુખ્ય વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ સાથે સુસંગત છે અને ચોક્કસ એન્જિનિયરિંગ ડ્રોઇંગ્સ સાથે તમારા ચોક્કસ રોબોટિક મોડેલ્સ સાથે અનુકૂલિત થઈ શકે છે.

Q3: શું તે 300 મીમી વેફરને વાર્પ કર્યા વિના હેન્ડલ કરી શકે છે?
એ3:ચોક્કસ. SiC ની ઊંચી કઠોરતા પાતળા, લાંબા ફોર્ક આર્મ્સને પણ ગતિ દરમિયાન ઝૂલ્યા વિના અથવા વિચલિત થયા વિના 300 મીમી વેફર્સને સુરક્ષિત રીતે પકડી રાખવાની મંજૂરી આપે છે.

પ્રશ્ન 4: SiC સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરની સામાન્ય સર્વિસ લાઇફ કેટલી હોય છે?
A4:યોગ્ય ઉપયોગ સાથે, SiC એન્ડ ઇફેક્ટર પરંપરાગત ક્વાર્ટઝ અથવા એલ્યુમિનિયમ મોડેલો કરતાં 5 થી 10 ગણો લાંબો સમય ટકી શકે છે, જે થર્મલ અને યાંત્રિક તાણ સામે ઉત્તમ પ્રતિકારને કારણે છે.

પ્રશ્ન 5: શું તમે રિપ્લેસમેન્ટ અથવા ઝડપી પ્રોટોટાઇપિંગ સેવાઓ પ્રદાન કરો છો?
A5:હા, અમે ઝડપી નમૂના ઉત્પાદનને સમર્થન આપીએ છીએ અને હાલના સાધનોમાંથી CAD ડ્રોઇંગ અથવા રિવર્સ-એન્જિનિયર્ડ ભાગોના આધારે રિપ્લેસમેન્ટ સેવાઓ પ્રદાન કરીએ છીએ.

અમારા વિશે

XKH ખાસ ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ અને નવી ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના હાઇ-ટેક વિકાસ, ઉત્પાદન અને વેચાણમાં નિષ્ણાત છે. અમારા ઉત્પાદનો ઓપ્ટિકલ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, કન્ઝ્યુમર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને લશ્કરી સેવા આપે છે. અમે સેફાયર ઓપ્ટિકલ ઘટકો, મોબાઇલ ફોન લેન્સ કવર, સિરામિક્સ, LT, સિલિકોન કાર્બાઇડ SIC, ક્વાર્ટઝ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વેફર્સ ઓફર કરીએ છીએ. કુશળ કુશળતા અને અત્યાધુનિક સાધનો સાથે, અમે બિન-માનક ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શ્રેષ્ઠ છીએ, જેનો હેતુ અગ્રણી ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ બનવાનો છે.

૫૬૭

  • પાછલું:
  • આગળ:

  • તમારો સંદેશ અહીં લખો અને અમને મોકલો.