સિલિકોન કાર્બાઇડ કેન્ટીલીવર પેડલ (SiC કેન્ટીલીવર પેડલ)

ટૂંકું વર્ણન:

અમને ઇમેઇલ મોકલો

સુવિધાઓ

વિગતવાર આકૃતિ

ઉત્પાદન સમાપ્તview

સિલિકોન કાર્બાઇડ કેન્ટીલીવર પેડલ, જે હાઇ-પર્ફોર્મન્સ રિએક્શન-બોન્ડેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (RBSiC) માંથી બનાવવામાં આવે છે, તે સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક એપ્લિકેશન્સ માટે વેફર લોડિંગ અને હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સમાં વપરાતો એક મહત્વપૂર્ણ ઘટક છે.
પરંપરાગત ક્વાર્ટઝ અથવા ગ્રેફાઇટ પેડલ્સની તુલનામાં, SiC કેન્ટીલીવર પેડલ્સ શ્રેષ્ઠ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ કઠિનતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ અને ઉત્કૃષ્ટ કાટ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. તેઓ ઊંચા તાપમાને ઉત્તમ માળખાકીય સ્થિરતા જાળવી રાખે છે, મોટા વેફર કદ, વિસ્તૃત સેવા જીવન અને અતિ-નીચા દૂષણની કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

મોટા વેફર વ્યાસ, ઉચ્ચ થ્રુપુટ અને સ્વચ્છ પ્રોસેસિંગ વાતાવરણ તરફ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓના સતત વિકાસ સાથે, SiC કેન્ટીલીવર પેડલ્સે ધીમે ધીમે પરંપરાગત સામગ્રીનું સ્થાન લીધું છે, જે પ્રસરણ ભઠ્ઠીઓ, LPCVD અને સંબંધિત ઉચ્ચ-તાપમાન સાધનો માટે પસંદગીની પસંદગી બની છે.

ઉત્પાદનના લક્ષણો

ઉત્તમ ઉચ્ચ-તાપમાન સ્થિરતા
- વિકૃતિ વિના 1000–1300℃ પર વિશ્વસનીય રીતે કાર્ય કરે છે.
- મહત્તમ સેવા તાપમાન 1380℃ સુધી.
ઉચ્ચ લોડ-બેરિંગ ક્ષમતા
- 250-280 MPa સુધીની બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ, ક્વાર્ટઝ પેડલ્સ કરતા ઘણી વધારે.
- મોટા વ્યાસવાળા વેફર્સ (300 મીમી અને તેથી વધુ) ને હેન્ડલ કરવામાં સક્ષમ.
વિસ્તૃત સેવા જીવન અને ઓછી જાળવણી
- નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD કોટિંગ સામગ્રી સાથે સારી રીતે મેળ ખાય છે.
- તણાવને કારણે થતી તિરાડો અને છાલ ઓછી થાય છે, સફાઈ અને જાળવણી ચક્રને નોંધપાત્ર રીતે લંબાવે છે.
કાટ પ્રતિકાર અને શુદ્ધતા
- એસિડ અને આલ્કલી સામે ઉત્તમ પ્રતિકાર.
- ખુલ્લા છિદ્રાળુતા <0.1% સાથે ગાઢ માઇક્રોસ્ટ્રક્ચર, કણોનું ઉત્પાદન અને અશુદ્ધિ મુક્તિને ઘટાડે છે.
ઓટોમેશન-સુસંગત ડિઝાઇન
- ઉચ્ચ પરિમાણીય ચોકસાઈ સાથે સ્થિર ક્રોસ-સેક્શનલ ભૂમિતિ.
- રોબોટિક વેફર લોડિંગ અને અનલોડિંગ સિસ્ટમ્સ સાથે સીમલેસ રીતે સંકલિત થાય છે, જે સંપૂર્ણપણે સ્વચાલિત ઉત્પાદનને સક્ષમ બનાવે છે.

ભૌતિક અને રાસાયણિક ગુણધર્મો

વસ્તુ	એકમ	ડેટા
મહત્તમ સેવા તાપમાન	℃	૧૩૮૦
ઘનતા	ગ્રામ/સેમી³	૩.૦૪ – ૩.૦૮
ખુલ્લી છિદ્રાળુતા	%	< ૦.૧
બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ	એમપીએ	૨૫૦ (૨૦℃), ૨૮૦ (૧૨૦૦℃)
સ્થિતિસ્થાપકતાનું મોડ્યુલસ	જીપીએ	૩૩૦ (૨૦℃), ૩૦૦ (૧૨૦૦℃)
થર્મલ વાહકતા	પ/મીટર·કે	૪૫ (૧૨૦૦℃)
થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક	કે⁻¹×૧૦⁻⁶	૪.૫
વિકર્સ કઠિનતા	એચવી2	≥ ૨૧૦૦
એસિડ/આલ્કલાઇન પ્રતિકાર	-	ઉત્તમ

માનક લંબાઈ:૨૩૭૮ મીમી, ૨૫૫૦ મીમી, ૨૬૬૦ મીમી
વિનંતી પર કસ્ટમ પરિમાણો ઉપલબ્ધ છે

અરજીઓ

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ
- LPCVD (લો પ્રેશર કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન)
- પ્રસરણ પ્રક્રિયાઓ (ફોસ્ફરસ, બોરોન, વગેરે)
- થર્મલ ઓક્સિડેશન
ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ
- પોલિસિલિકોન અને મોનોક્રિસ્ટલાઇન વેફર પ્રસરણ અને કોટિંગ
- ઉચ્ચ-તાપમાન એનિલિંગ અને પેસિવેશન
અન્ય ક્ષેત્રો
- ઉચ્ચ-તાપમાન કાટ લાગતા વાતાવરણ
- લાંબી સેવા જીવન અને ઓછા દૂષણની જરૂર હોય તેવી ચોકસાઇ વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ.

ગ્રાહક લાભો

ઘટાડેલા સંચાલન ખર્ચ- ક્વાર્ટઝ પેડલ્સની તુલનામાં લાંબુ આયુષ્ય, ડાઉનટાઇમ અને રિપ્લેસમેન્ટ ફ્રીક્વન્સી ઘટાડે છે.
વધુ ઉપજ- અત્યંત ઓછું દૂષણ વેફર સપાટીની સ્વચ્છતા સુનિશ્ચિત કરે છે અને ખામી દર ઘટાડે છે.
ભવિષ્ય-પુરાવો- મોટા વેફર કદ અને આગામી પેઢીની સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓ સાથે સુસંગત.
સુધારેલ ઉત્પાદકતા- રોબોટિક ઓટોમેશન સિસ્ટમ્સ સાથે સંપૂર્ણપણે સુસંગત, ઉચ્ચ-વોલ્યુમ ઉત્પાદનને ટેકો આપે છે.

વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો - સિલિકોન કાર્બાઇડ કેન્ટીલીવર પેડલ

પ્રશ્ન ૧: સિલિકોન કાર્બાઇડ કેન્ટીલીવર પેડલ શું છે?
A: તે રિએક્શન-બોન્ડેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (RBSiC) થી બનેલું વેફર સપોર્ટ અને હેન્ડલિંગ ઘટક છે. તેનો વ્યાપકપણે પ્રસરણ ભઠ્ઠીઓ, LPCVD અને અન્ય ઉચ્ચ-તાપમાન સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગ થાય છે.

Q2: ક્વાર્ટઝ પેડલ્સ કરતાં SiC શા માટે પસંદ કરવું?
A: ક્વાર્ટઝ પેડલ્સની તુલનામાં, SiC પેડલ્સ ઓફર કરે છે:

ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ અને ભાર વહન ક્ષમતા
૧૩૮૦℃ સુધીના તાપમાને વધુ સારી થર્મલ સ્થિરતા
ઘણી લાંબી સેવા જીવન અને ઘટાડેલા જાળવણી ચક્ર
કણોનું ઉત્પાદન અને દૂષણનું જોખમ ઓછું
મોટા વેફર કદ (300 મીમી અને તેથી વધુ) સાથે સુસંગતતા

Q3: SiC કેન્ટીલીવર પેડલ કયા વેફર કદને સપોર્ટ કરી શકે છે?
A: 2378 mm, 2550 mm અને 2660 mm ફર્નેસ સિસ્ટમ માટે સ્ટાન્ડર્ડ પેડલ્સ ઉપલબ્ધ છે. 300 mm અને તેથી વધુ સુધીના વેફર્સને સપોર્ટ કરવા માટે કસ્ટમાઇઝ્ડ પરિમાણો ઉપલબ્ધ છે.

અમારા વિશે

XKH ખાસ ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ અને નવી ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના હાઇ-ટેક વિકાસ, ઉત્પાદન અને વેચાણમાં નિષ્ણાત છે. અમારા ઉત્પાદનો ઓપ્ટિકલ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, કન્ઝ્યુમર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને લશ્કરી સેવા આપે છે. અમે સેફાયર ઓપ્ટિકલ ઘટકો, મોબાઇલ ફોન લેન્સ કવર, સિરામિક્સ, LT, સિલિકોન કાર્બાઇડ SIC, ક્વાર્ટઝ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વેફર્સ ઓફર કરીએ છીએ. કુશળ કુશળતા અને અત્યાધુનિક સાધનો સાથે, અમે બિન-માનક ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શ્રેષ્ઠ છીએ, જેનો હેતુ અગ્રણી ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ બનવાનો છે.