સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર (ફોર્ક આર્મ/હેન્ડ પ્રકાર)

આસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરખાસ સિરામિક ફેબ્રિકેશન વર્કફ્લો દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે જે ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ઉચ્ચ ઘનતા અને લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતાની ખાતરી આપે છે. સમગ્ર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન, કડક ગુણવત્તા નિયંત્રણો ખાતરી કરે છે કે દરેકસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરસેમિકન્ડક્ટર-ક્લાસ ઓટોમેટેડ સિસ્ટમ્સની કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

૧. સામગ્રીની તૈયારી

ઉત્પાદન ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા SiC પાવડરની પસંદગીથી શરૂ થાય છે. આ પાવડર યાંત્રિક શક્તિ અને શુદ્ધતા નક્કી કરે છેસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરઆદર્શ કણોનું પેકિંગ પ્રાપ્ત કરવા અને એકસમાન ઘનતાને પ્રોત્સાહન આપવા માટે ખાસ બાઈન્ડર અને સિન્ટરિંગ ઉમેરણોનું મિશ્રણ કરવામાં આવે છે.

2. આકાર આપવો અને પ્રીફોર્મિંગ

નું લીલું શરીરસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરઆઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ અથવા સિરામિક ઇન્જેક્શન મોલ્ડિંગનો ઉપયોગ કરીને બનાવવામાં આવે છે. આ ન્યૂનતમ આંતરિક ખામીઓ સાથે તણાવ-સંતુલિત માળખું સુનિશ્ચિત કરે છે. ફોર્ક-શૈલીની ભૂમિતિને આ તબક્કે વેફર વ્યાસ અને રોબોટિક માઉન્ટિંગ ઇન્ટરફેસ સાથે મેળ ખાતી આકાર આપવામાં આવે છે.

3. ઉચ્ચ-તાપમાન સિન્ટરિંગ

આકારના ઘટકને શૂન્યાવકાશ અથવા નિષ્ક્રિય વાતાવરણમાં 2000°C ઉપર સિન્ટર કરવામાં આવે છે. આ પગલા દરમિયાન,સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરસૈદ્ધાંતિક ઘનતા સુધી પહોંચે છે, ઉત્તમ કઠિનતા, થર્મલ શોક પ્રતિકાર અને રાસાયણિક સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. આ તબક્કો ઘટકની યાંત્રિક અખંડિતતા વ્યાખ્યાયિત કરે છે.

4. CNC પ્રિસિઝન મશીનિંગ

સિન્ટરિંગ પછી, હીરા ગ્રાઇન્ડીંગ અને મલ્ટી-એક્સિસ CNC મશીનિંગ ભૂમિતિને શુદ્ધ કરે છેસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર. વેફર સંપર્ક સપાટીઓ, માઉન્ટિંગ છિદ્રો, ગોઠવણી ખાંચો અને ફોર્ક અંતર જેવા મહત્વપૂર્ણ લક્ષણો ±0.01 મીમી જેટલા ચુસ્ત સહનશીલતા પર મશિન કરવામાં આવે છે.

૫. સપાટી પૂર્ણાહુતિ અને સફાઈ

છેલ્લે,સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરઅલ્ટ્રા-ફાઇન પોલિશિંગ અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈમાંથી પસાર થાય છે. આ પગલું સપાટીની ખરબચડી ઘટાડે છે અને સૂક્ષ્મ-કણોને દૂર કરે છે, જે સ્વચ્છ રૂમ સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરે છે. વૈકલ્પિક CVD-SiC કોટિંગ્સ અથવા પ્લાઝ્મા-પ્રતિરોધક સ્તરો ટકાઉપણું વધુ વધારી શકે છે.

આ ઝીણવટભર્યું ઉત્પાદન અભિગમ ખાતરી કરે છે કે દરેકસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઓટોમેશન વાતાવરણમાં વિશ્વસનીય રીતે કાર્ય કરે છે.