સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે સકર સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ ઉચ્ચ તાપમાન સિંટરિંગ કસ્ટમ પ્રોસેસિંગ
મુખ્ય લાક્ષણિકતાઓ:
1. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે
- ઉચ્ચ કઠિનતા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર: કઠિનતા હીરાની નજીક છે, અને લાંબા સમય સુધી વેફર પ્રોસેસિંગમાં યાંત્રિક વસ્ત્રોનો સામનો કરી શકે છે.
- ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક: ઝડપી ગરમીનું વિસર્જન અને પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ તણાવને કારણે વિકૃતિને ટાળીને.
- ઉચ્ચ ફ્લેટનેસ અને સપાટી પૂર્ણાહુતિ: સપાટીની ચપળતા માઇક્રોન સ્તર સુધી છે, જે વેફર અને ડિસ્ક વચ્ચે સંપૂર્ણ સંપર્કની ખાતરી કરે છે, દૂષણ અને નુકસાનને ઘટાડે છે.
રાસાયણિક સ્થિરતા: સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ભીની સફાઈ અને એચિંગ પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય, મજબૂત કાટ પ્રતિકાર.
2. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ
- temperature ંચા તાપમાન પ્રતિકાર: તે લાંબા સમય સુધી 1600 ° સે ઉપર temperature ંચા તાપમાને વાતાવરણમાં કામ કરી શકે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ઉચ્ચ તાપમાન પ્રક્રિયા માટે યોગ્ય છે.
ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર: એસિડ્સ, આલ્કાલિસ અને વિવિધ રાસાયણિક દ્રાવકો માટે પ્રતિરોધક, કઠોર પ્રક્રિયા વાતાવરણ માટે યોગ્ય.
- ઉચ્ચ કઠિનતા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર: કણોના ધોવાણ અને યાંત્રિક વસ્ત્રોનો પ્રતિકાર કરો, સેવા જીવનને વિસ્તૃત કરો.
- ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને થર્મલ વિસ્તરણનું ઓછું ગુણાંક: ગરમીનું ઝડપી વહન અને પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ તણાવને કારણે વિરૂપતા અથવા ક્રેકીંગ ઘટાડે છે.
ઉત્પાદન પરિમાણ :
સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે પરિમાણ:
(સામગ્રી સંપત્તિ) | (એકમ) | (એસએસઆઈસી) | |
(Sic સામગ્રી) | (ડબલ્યુટી)% | > 99 | |
(સરેરાશ અનાજનું કદ) | માઇક્રોન | 4-10 | |
(ઘનતા) | કિલો/ડીએમ 3 | > 3.14 | |
(સ્પષ્ટ છિદ્રાળુતા) | VO1% | <0.5 | |
(વિકર્સ સખ્તાઇ) | એચવી 0.5 | જી.પી.એ. | 28 |
*() ફ્લેક્સ્યુરલ તાકાત* (ત્રણ પોઇન્ટ) | 20º સે | સી.એચ.ટી.એ. | 450 |
(સંકુચિત શક્તિ) | 20º સે | સી.એચ.ટી.એ. | 3900 |
(સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ) | 20º સે | જી.પી.એ. | 420 |
(અસ્થિભંગ કઠિનતા) | MPA/M '% | 3.5. | |
(થર્મલ વાહકતા) | 20 ° º સે | ડબલ્યુ/(એમ*કે) | 160 |
(પ્રતિકારકતા) | 20 ° º સે | અહંકાર | 106-108 |
(થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક) | એ (આરટી ** ... 80ºC) | કે -1*10-6 | 3.3 |
(મહત્તમ operating પરેટિંગ તાપમાન) | ઓ.સી. | 1700 |
સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ પરિમાણ:
વસ્તુઓ | અનુક્રમણિકા |
α- એસઆઈસી | 99% |
સ્પષ્ટ છિદ્ર આદત | 16% મહત્તમ |
મોટા પ્રમાણમાં થતી ઘનતા | 2.7 જી/સેમી 3 મિનિટ |
Temperature ંચા તાપમાને વળી જવું | 100 એમપીએ |
થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક | કે -1 4.7x10 -6 |
થર્મલ વાહકતાનો ગુણાંક (1400ºC) | 24 ડબલ્યુ/એમકે |
મહત્તમ. કામકાજનું તાપમાન | 1650º સે |
મુખ્ય કાર્યક્રમો:
1. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક પ્લેટ
- વેફર કટીંગ અને પોલિશિંગ: કટીંગ અને પોલિશિંગ દરમિયાન ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને સ્થિરતાની ખાતરી કરવા માટે બેરિંગ પ્લેટફોર્મ તરીકે સેવા આપે છે.
- લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા: એક્સપોઝર દરમિયાન ઉચ્ચ ચોકસાઇની સ્થિતિ સુનિશ્ચિત કરવા માટે લિથોગ્રાફી મશીનમાં વેફર નિશ્ચિત છે.
- કેમિકલ મિકેનિકલ પોલિશિંગ (સીએમપી): પેડ્સને પોલિશ કરવા માટે સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ તરીકે કાર્ય કરે છે, સમાન દબાણ અને ગરમીનું વિતરણ પ્રદાન કરે છે.
2. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ
- ઉચ્ચ તાપમાન ફર્નેસ ટ્યુબ: ઉચ્ચ તાપમાનની પ્રક્રિયા માટે વેફર વહન કરવા માટે પ્રસરણ ભઠ્ઠી અને ઓક્સિડેશન ભઠ્ઠી જેવા ઉચ્ચ તાપમાન સાધનો માટે વપરાય છે.
- સીવીડી/પીવીડી પ્રક્રિયા: પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં બેરિંગ ટ્યુબ તરીકે, ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટમાળ વાયુઓ માટે પ્રતિરોધક.
- સેમિકન્ડક્ટર સાધનો એસેસરીઝ: ઉપકરણોની થર્મલ મેનેજમેન્ટ કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરવા માટે હીટ એક્સ્ચેન્જર્સ, ગેસ પાઇપલાઇન્સ, વગેરે.
એક્સકેએચ સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે, સક્શન કપ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ માટે કસ્ટમ સેવાઓની સંપૂર્ણ શ્રેણી પ્રદાન કરે છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે અને સક્શન કપ, એક્સકેએચ વિવિધ કદ, આકારો અને સપાટીની રફનેસની ગ્રાહકની આવશ્યકતાઓ અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે, અને વિશેષ કોટિંગ સારવારને ટેકો આપે છે, વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને કાટ પ્રતિકારને વધારે છે; સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ માટે, એક્સકેએચ વિવિધ આંતરિક વ્યાસ, બાહ્ય વ્યાસ, લંબાઈ અને જટિલ માળખા (જેમ કે આકારની ટ્યુબ અથવા છિદ્રાળુ ટ્યુબ) ને કસ્ટમાઇઝ કરી શકે છે, અને પોલિશિંગ, એન્ટિ- ox ક્સિડેશન કોટિંગ અને અન્ય સપાટીની સારવાર પ્રક્રિયાઓ પ્રદાન કરી શકે છે. એક્સકેએચ સુનિશ્ચિત કરે છે કે સેમિકન્ડક્ટર, એલઈડી અને ફોટોવોલ્ટેઇક જેવા ઉચ્ચ-અંતિમ ઉત્પાદન ક્ષેત્રોની માંગણી કરવાની આવશ્યકતાઓને પહોંચી વળવા માટે ગ્રાહકો સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ઉત્પાદનોના પ્રભાવ લાભોનો સંપૂર્ણ લાભ લઈ શકે છે.
વિગતવાર આકૃતિ



