સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે સકર સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ સપ્લાય ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ કસ્ટમ પ્રોસેસિંગ
મુખ્ય લક્ષણો:
1. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે
- ઉચ્ચ કઠિનતા અને ઘસારો પ્રતિકાર: કઠિનતા હીરાની નજીક છે, અને લાંબા સમય સુધી વેફર પ્રોસેસિંગમાં યાંત્રિક ઘસારો સહન કરી શકે છે.
- ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક: ઝડપી ગરમીનું વિસર્જન અને પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ તાણને કારણે થતા વિકૃતિને ટાળે છે.
- ઉચ્ચ સપાટતા અને સપાટી પૂર્ણાહુતિ: સપાટીની સપાટતા માઇક્રોન સ્તર સુધી છે, જે વેફર અને ડિસ્ક વચ્ચે સંપૂર્ણ સંપર્ક સુનિશ્ચિત કરે છે, દૂષણ અને નુકસાન ઘટાડે છે.
રાસાયણિક સ્થિરતા: મજબૂત કાટ પ્રતિકાર, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ભીની સફાઈ અને એચિંગ પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય.
2. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ
- ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર: તે 1600°C થી ઉપરના ઉચ્ચ તાપમાન વાતાવરણમાં લાંબા સમય સુધી કામ કરી શકે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ઉચ્ચ તાપમાન પ્રક્રિયા માટે યોગ્ય છે.
ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર: એસિડ, આલ્કલી અને વિવિધ રાસાયણિક દ્રાવકો સામે પ્રતિરોધક, કઠોર પ્રક્રિયા વાતાવરણ માટે યોગ્ય.
- ઉચ્ચ કઠિનતા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર: કણોના ધોવાણ અને યાંત્રિક વસ્ત્રોનો પ્રતિકાર કરો, સેવા જીવન લંબાવો.
- ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને થર્મલ વિસ્તરણનો ઓછો ગુણાંક: ગરમીનું ઝડપી વહન અને પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ તણાવને કારણે વિકૃતિ અથવા તિરાડ ઘટાડે છે.
ઉત્પાદન પરિમાણ:
સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે પરિમાણ:
| (ભૌતિક સંપત્તિ) | (એકમ) | (ssic) | |
| (SiC સામગ્રી) | (વોટ)% | >૯૯ | |
| (સરેરાશ અનાજનું કદ) | માઇક્રોન | ૪-૧૦ | |
| (ઘનતા) | કિલો/ડીએમ3 | > ૩.૧૪ | |
| (દેખીતી છિદ્રાળુતા) | વોટ 1% | <0.5 | |
| (વિકર્સ કઠિનતા) | એચવી ૦.૫ | જીપીએ | 28 |
| *() ફ્લેક્સરલ તાકાત* (ત્રણ પોઈન્ટ) | 20ºC | એમપીએ | ૪૫૦ |
| (સંકોચન શક્તિ) | 20ºC | એમપીએ | ૩૯૦૦ |
| (સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ) | 20ºC | જીપીએ | ૪૨૦ |
| (ફ્રેક્ચરની મજબૂતાઈ) | MPa/મી'% | ૩.૫ | |
| (થર્મલ વાહકતા) | ૨૦°સે. | ડબલ્યુ/(મી*કે) | ૧૬૦ |
| (પ્રતિરોધકતા) | ૨૦°સે. | ઓહ્મ.સેમી | ૧૦૬-૧૦૮ |
(થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક) | a(RT**...80ºC) | કે-૧*૧૦-૬ | ૪.૩ |
(મહત્તમ ઓપરેટિંગ તાપમાન) | તાપમાન | ૧૭૦૦ | |
સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ પરિમાણ:
| વસ્તુઓ | અનુક્રમણિકા |
| α-એસઆઈસી | ૯૯% મિનિટ |
| દેખીતી છિદ્રાળુતા | મહત્તમ ૧૬% |
| બલ્ક ડેન્સિટી | 2.7 ગ્રામ/સેમી3 મિનિટ |
| ઊંચા તાપમાને વાળવાની શક્તિ | ૧૦૦ એમપીએ મિનિટ |
| થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક | K-1 4.7x10 -6 |
| થર્મલ વાહકતાનો ગુણાંક (1400ºC) | ૨૪ વોટ/એમકે |
| મહત્તમ કાર્યકારી તાપમાન | ૧૬૫૦ºC |
મુખ્ય એપ્લિકેશનો:
1. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક પ્લેટ
- વેફર કટીંગ અને પોલિશિંગ: કટીંગ અને પોલિશિંગ દરમિયાન ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે બેરિંગ પ્લેટફોર્મ તરીકે કામ કરે છે.
- લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા: એક્સપોઝર દરમિયાન ઉચ્ચ ચોકસાઇવાળી સ્થિતિ સુનિશ્ચિત કરવા માટે વેફરને લિથોગ્રાફી મશીનમાં ફિક્સ કરવામાં આવે છે.
- કેમિકલ મિકેનિકલ પોલિશિંગ (CMP): પેડ્સને પોલિશ કરવા માટે સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ તરીકે કામ કરે છે, જે સમાન દબાણ અને ગરમીનું વિતરણ પૂરું પાડે છે.
2. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ
- ઉચ્ચ તાપમાન ભઠ્ઠી ટ્યુબ: ઉચ્ચ તાપમાન પ્રક્રિયા સારવાર માટે વેફર વહન કરવા માટે પ્રસરણ ભઠ્ઠી અને ઓક્સિડેશન ભઠ્ઠી જેવા ઉચ્ચ તાપમાન ઉપકરણો માટે વપરાય છે.
- સીવીડી/પીવીડી પ્રક્રિયા: પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં બેરિંગ ટ્યુબ તરીકે, ઊંચા તાપમાન અને કાટ લાગતા વાયુઓ સામે પ્રતિરોધક.
- સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના એક્સેસરીઝ: હીટ એક્સ્ચેન્જર્સ, ગેસ પાઇપલાઇન્સ વગેરે માટે, સાધનોની થર્મલ મેનેજમેન્ટ કાર્યક્ષમતા સુધારવા માટે.
XKH સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે, સક્શન કપ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ માટે કસ્ટમ સેવાઓની સંપૂર્ણ શ્રેણી પ્રદાન કરે છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્રે અને સક્શન કપ, XKH ને વિવિધ કદ, આકાર અને સપાટીની ખરબચડીની ગ્રાહક જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે, અને ખાસ કોટિંગ ટ્રીટમેન્ટને સપોર્ટ કરે છે, વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને કાટ પ્રતિકાર વધારે છે; સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ટ્યુબ માટે, XKH વિવિધ પ્રકારના આંતરિક વ્યાસ, બાહ્ય વ્યાસ, લંબાઈ અને જટિલ માળખા (જેમ કે આકારની ટ્યુબ અથવા છિદ્રાળુ ટ્યુબ) ને કસ્ટમાઇઝ કરી શકે છે, અને પોલિશિંગ, એન્ટી-ઓક્સિડેશન કોટિંગ અને અન્ય સપાટી સારવાર પ્રક્રિયાઓ પ્રદાન કરી શકે છે. XKH ખાતરી કરે છે કે ગ્રાહકો સેમિકન્ડક્ટર, એલઇડી અને ફોટોવોલ્ટેઇક્સ જેવા ઉચ્ચ-અંતિમ ઉત્પાદન ક્ષેત્રોની માંગણી જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ઉત્પાદનોના પ્રદર્શન લાભોનો સંપૂર્ણ લાભ લઈ શકે છે.
વિગતવાર આકૃતિ
