સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) વેફર બોટ

ટૂંકું વર્ણન:

સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) વેફર બોટ એ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા SiC સામગ્રીથી બનેલી સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા વાહક છે, જે એપિટાક્સી, ઓક્સિડેશન, પ્રસરણ અને એનેલિંગ જેવી મહત્વપૂર્ણ ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફરને પકડી રાખવા અને પરિવહન કરવા માટે રચાયેલ છે.

અમને ઇમેઇલ મોકલો

સુવિધાઓ

વિગતવાર આકૃતિ

ક્વાર્ટઝ ગ્લાસનું વિહંગાવલોકન

પાવર સેમિકન્ડક્ટર અને વિશાળ બેન્ડગેપ ઉપકરણોના ઝડપી વિકાસ સાથે, પરંપરાગત ક્વાર્ટઝ બોટ ઊંચા તાપમાને વિકૃતિ, ગંભીર કણોનું દૂષણ અને ટૂંકી સેવા જીવન જેવી મર્યાદાઓનો સામનો કરે છે. શ્રેષ્ઠ થર્મલ સ્થિરતા, ઓછું દૂષણ અને વિસ્તૃત જીવનકાળ ધરાવતી SiC વેફર બોટ, ક્વાર્ટઝ બોટને વધુને વધુ બદલી રહી છે અને SiC ઉપકરણ ઉત્પાદનમાં પસંદગીની પસંદગી બની રહી છે.

મુખ્ય વિશેષતાઓ

1. સામગ્રીના ફાયદા

ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા SiC થી ઉત્પાદિતઉચ્ચ કઠિનતા અને તાકાત.
ગલનબિંદુ 2700°C થી ઉપર, ક્વાર્ટઝ કરતા ઘણો વધારે, જે આત્યંતિક વાતાવરણમાં લાંબા ગાળાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

2. થર્મલ ગુણધર્મો

ઝડપી અને સમાન ગરમી સ્થાનાંતરણ માટે ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, વેફર તણાવ ઘટાડે છે.
થર્મલ વિસ્તરણ (CTE) નો ગુણાંક SiC સબસ્ટ્રેટ્સ સાથે ગાઢ રીતે મેળ ખાય છે, જે વેફર બોવિંગ અને ક્રેકીંગ ઘટાડે છે.

3. રાસાયણિક સ્થિરતા

ઊંચા તાપમાન અને વિવિધ વાતાવરણ (H₂, N₂, Ar, NH₃, વગેરે) હેઠળ સ્થિર.
ઉત્તમ ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર, વિઘટન અને કણોના ઉત્પાદનને અટકાવે છે.

4. પ્રક્રિયા કામગીરી

સુંવાળી અને ગાઢ સપાટી કણોનું ઉતારવું અને દૂષણ ઘટાડે છે.
લાંબા ગાળાના ઉપયોગ પછી પરિમાણીય સ્થિરતા અને લોડ ક્ષમતા જાળવી રાખે છે.

૫. ખર્ચ કાર્યક્ષમતા

ક્વાર્ટઝ બોટ કરતાં 3-5 ગણી લાંબી સર્વિસ લાઇફ.
જાળવણીની આવર્તન ઓછી થાય છે, ડાઉનટાઇમ અને રિપ્લેસમેન્ટ ખર્ચમાં ઘટાડો થાય છે.

અરજીઓ

SiC એપિટાક્સી: ઉચ્ચ-તાપમાનના એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ દરમિયાન 4-ઇંચ, 6-ઇંચ અને 8-ઇંચના SiC સબસ્ટ્રેટને ટેકો આપે છે.
પાવર ડિવાઇસ ફેબ્રિકેશન: SiC MOSFETs, Schottky બેરિયર ડાયોડ્સ (SBDs), IGBTs અને અન્ય ઉપકરણો માટે આદર્શ.
થર્મલ ટ્રીટમેન્ટ: એનલિંગ, નાઇટ્રિડેશન અને કાર્બોનાઇઝેશન પ્રક્રિયાઓ.
ઓક્સિડેશન અને પ્રસરણ: ઉચ્ચ-તાપમાન ઓક્સિડેશન અને પ્રસાર માટે સ્થિર વેફર સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ.

ટેકનિકલ વિશિષ્ટતાઓ

વસ્તુ	સ્પષ્ટીકરણ
સામગ્રી	ઉચ્ચ શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC)
વેફરનું કદ	4-ઇંચ / 6-ઇંચ / 8-ઇંચ (કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય તેવું)
મહત્તમ ઓપરેટિંગ તાપમાન.	≤ ૧૮૦૦°સે
થર્મલ વિસ્તરણ CTE	૪.૨ × ૧૦⁻⁶ /K (SiC સબસ્ટ્રેટની નજીક)
થર્મલ વાહકતા	૧૨૦–૨૦૦ વોટ/મીટર·કેલ
સપાટીની ખરબચડીતા	રા < 0.2 μm
સમાંતરવાદ	±0.1 મીમી
સેવા જીવન	ક્વાર્ટઝ બોટ કરતાં ≥ 3× લાંબી

સરખામણી: ક્વાર્ટઝ બોટ વિરુદ્ધ SiC બોટ

પરિમાણ	ક્વાર્ટઝ બોટ	SiC બોટ
તાપમાન પ્રતિકાર	≤ ૧૨૦૦°C, ઊંચા તાપમાને વિકૃતિ.	≤ ૧૮૦૦°C, થર્મલી સ્થિર
SiC સાથે CTE મેચ	મોટી મેળ ખાતી નથી, વેફર સ્ટ્રેસનું જોખમ	બંધ મેચ, વેફર ક્રેકીંગ ઘટાડે છે
કણોનું દૂષણ	ઉચ્ચ, અશુદ્ધિઓ ઉત્પન્ન કરે છે	નીચી, સુંવાળી અને ગાઢ સપાટી
સેવા જીવન	ટૂંકા, વારંવાર બદલાવ	લાંબુ, ૩-૫× લાંબુ આયુષ્ય
યોગ્ય પ્રક્રિયા	પરંપરાગત Si એપિટાક્સી	SiC એપિટાક્સી અને પાવર ઉપકરણો માટે ઑપ્ટિમાઇઝ કરેલ

વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો - સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) વેફર બોટ

1. SiC વેફર બોટ શું છે?

SiC વેફર બોટ એ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડથી બનેલી સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા વાહક છે. તેનો ઉપયોગ એપિટાક્સી, ઓક્સિડેશન, પ્રસરણ અને એનેલીંગ જેવી ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફર્સને પકડી રાખવા અને પરિવહન કરવા માટે થાય છે. પરંપરાગત ક્વાર્ટઝ બોટની તુલનામાં, SiC વેફર બોટ શ્રેષ્ઠ થર્મલ સ્થિરતા, ઓછું દૂષણ અને લાંબી સેવા જીવન પ્રદાન કરે છે.

2. ક્વાર્ટઝ બોટ કરતાં SiC વેફર બોટ શા માટે પસંદ કરવી?

ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર: ક્વાર્ટઝ (≤1200°C) ની તુલનામાં 1800°C સુધી સ્થિર.
વધુ સારી CTE મેચ: SiC સબસ્ટ્રેટ્સની નજીક, વેફર સ્ટ્રેસ અને ક્રેકીંગ ઘટાડે છે.
કણોનું ઉત્પાદન ઓછું: સુંવાળી, ગાઢ સપાટી દૂષણ ઘટાડે છે.
લાંબુ આયુષ્ય: ક્વાર્ટઝ બોટ કરતાં 3-5 ગણી લાંબી, માલિકીનો ખર્ચ ઓછો કરે છે.

3. SiC વેફર બોટ્સ કયા કદના વેફરને સપોર્ટ કરી શકે છે?

અમે પ્રમાણભૂત ડિઝાઇન પ્રદાન કરીએ છીએ૪-ઇંચ, ૬-ઇંચ અને ૮-ઇંચગ્રાહકોની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે સંપૂર્ણ કસ્ટમાઇઝેશન સાથે વેફર્સ ઉપલબ્ધ છે.

4. SiC વેફર બોટનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે કઈ પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે?

SiC એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ
પાવર સેમિકન્ડક્ટર ડિવાઇસ મેન્યુફેક્ચરિંગ (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
ઉચ્ચ-તાપમાન એનિલિંગ, નાઇટ્રિડેશન અને કાર્બોનાઇઝેશન
ઓક્સિડેશન અને પ્રસાર પ્રક્રિયાઓ

અમારા વિશે

XKH ખાસ ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ અને નવી ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના હાઇ-ટેક વિકાસ, ઉત્પાદન અને વેચાણમાં નિષ્ણાત છે. અમારા ઉત્પાદનો ઓપ્ટિકલ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, કન્ઝ્યુમર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને લશ્કરી સેવા આપે છે. અમે સેફાયર ઓપ્ટિકલ ઘટકો, મોબાઇલ ફોન લેન્સ કવર, સિરામિક્સ, LT, સિલિકોન કાર્બાઇડ SIC, ક્વાર્ટઝ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વેફર્સ ઓફર કરીએ છીએ. કુશળ કુશળતા અને અત્યાધુનિક સાધનો સાથે, અમે બિન-માનક ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શ્રેષ્ઠ છીએ, જેનો હેતુ અગ્રણી ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ બનવાનો છે.