અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન SiC એર-બેરિંગ સ્ટેજ

ટૂંકું વર્ણન:

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગના સતત વિકાસ સાથે, પ્રોસેસિંગ અને નિરીક્ષણ સાધનો હંમેશા ઉચ્ચ પ્રદર્શનની માંગ કરે છે. ગતિ નિયંત્રણ અને નેનોમીટર-સ્તરની સ્થિતિકરણમાં વ્યાપક કુશળતાના આધારે, અમે પ્લેનર H-પ્રકારનો ડ્યુઅલ-એક્સિસ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન એર-બેરિંગ સ્ટેજ વિકસાવ્યો છે.

અમને ઇમેઇલ મોકલો

સુવિધાઓ

વિગતવાર આકૃતિ

ઝાંખી

મર્યાદિત-તત્વ-ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સિરામિક સ્ટ્રક્ચર અને વળતરયુક્ત એર-બેરિંગ ટેકનોલોજી સાથે રચાયેલ, આ સ્ટેજ ઉત્કૃષ્ટ ચોકસાઈ, કઠોરતા અને ગતિશીલ પ્રતિભાવ પ્રદાન કરે છે. તે આદર્શ રીતે નીચેના માટે યોગ્ય છે:

સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ અને નિરીક્ષણ
સૂક્ષ્મ/નેનો ફેબ્રિકેશન અને મેટ્રોલોજી
નેનોમીટર-સ્કેલ ફ્લાય-કટીંગ અને પોલિશિંગ
હાઇ-સ્પીડ ચોકસાઇ સ્કેનીંગ

મુખ્ય વિશેષતાઓ

SiC એર-બેરિંગ માર્ગદર્શિકાઅતિ-ઉચ્ચ કઠિનતા અને ચોકસાઇ માટે
ઉચ્ચ ગતિશીલતા: 1 મીટર/સેકન્ડ સુધીનો વેગ, 4 ગ્રામ સુધીનો પ્રવેગ, ઝડપી સ્થિરતા
ડ્યુઅલ-ડ્રાઇવ ગેન્ટ્રી Y-અક્ષઉચ્ચ લોડ ક્ષમતા અને સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે
એન્કોડર વિકલ્પો: ઓપ્ટિકલ ગ્રેટિંગ અથવા લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર
સ્થિતિ ચોકસાઈ: ±0.15 μm;પુનરાવર્તિતતા: ±૭૫ એનએમ
ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ કેબલ રૂટીંગસ્વચ્છ ડિઝાઇન અને લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતા માટે
કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય તેવા રૂપરેખાંકનોએપ્લિકેશન-વિશિષ્ટ જરૂરિયાતો માટે

અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન ડિઝાઇન અને ડાયરેક્ટ-ડ્રાઇવ, નોન-કોન્ટેક્ટ આર્કિટેક્ચર

SiC સિરામિક ફ્રેમ: ~5× એલ્યુમિનિયમ એલોયની કઠિનતા અને ~5× ઓછું થર્મલ વિસ્તરણ, જે હાઇ-સ્પીડ સ્થિરતા અને થર્મલ મજબૂતાઈ સુનિશ્ચિત કરે છે.
વળતરયુક્ત એર-બેરિંગ: માલિકીની ડિઝાઇન જડતા, ભાર ક્ષમતા અને ગતિ સ્થિરતામાં વધારો કરે છે.
ગતિશીલ પ્રદર્શન: 1 મીટર/સેકન્ડ વેગ અને 4 ગ્રામ પ્રવેગને સપોર્ટ કરે છે, જે ઉચ્ચ-થ્રુપુટ પ્રક્રિયાઓ માટે આદર્શ છે.
સીમલેસ ઇન્ટિગ્રેશન: વાઇબ્રેશન આઇસોલેશન સિસ્ટમ્સ, રોટરી સ્ટેજ, ટિલ્ટ મોડ્યુલ્સ અને વેફર હેન્ડલિંગ પ્લેટફોર્મ સાથે સુસંગત.
કેબલ મેનેજમેન્ટ: નિયંત્રિત બેન્ડિંગ ત્રિજ્યા લાંબા સેવા જીવન માટે તણાવ ઘટાડે છે.

કોરલેસ રેખીય મોટર: શૂન્ય કોગિંગ બળ સાથે સરળ ગતિ.
મલ્ટી-મોટર ડ્રાઇવ: લોડ-પ્લેન મોટર પ્લેસમેન્ટ સીધીતા, સપાટતા અને કોણીય ચોકસાઇમાં સુધારો કરે છે.
થર્મલ આઇસોલેશન: મોટર્સને સ્ટેજ સ્ટ્રક્ચરથી અલગ કરવામાં આવે છે; હાઇ-ડ્યુટી ચક્ર માટે વૈકલ્પિક હવા અથવા પાણી ઠંડક.

વિશિષ્ટતાઓ

મોડેલ	૪૦૦-૪૦૦	૫૦૦-૫૦૦	૬૦૦-૬૦૦
કુહાડીઓ	X (સ્કેન) / Y (પગલું)	X (સ્કેન) / Y (પગલું)	X (સ્કેન) / Y (પગલું)
મુસાફરી (મીમી)	૪૦૦/૪૦૦	૫૦૦/૫૦૦	૬૦૦/૬૦૦
ચોકસાઈ (μm)	±૦.૧૫	±૦.૨	±૦.૨
પુનરાવર્તિતતા (nm)	±૭૫	±૧૦૦	±૧૦૦
રિઝોલ્યુશન (nm)	૦.૩	૦.૩	૦.૩
મહત્તમ ગતિ (મી/સે)	1	1	1
પ્રવેગ (g)	4	4	4
સીધીતા (μm)	±૦.૨	±૦.૩	±૦.૪
સ્થિરતા (nm)	±5	±5	±5
મહત્તમ ભાર (કિલો)	20	20	20
પિચ/રોલ/યો (આર્ક-સેકન્ડ)	±1	±1	±1

પરીક્ષણ શરતો:

હવા પુરવઠો: સ્વચ્છ, સૂકો; ઝાકળ બિંદુ ≤ 0°F; કણ ગાળણ ≤ 0.25 μm; અથવા 99.99% નાઇટ્રોજન.
ચોકસાઈ સ્ટેજ સેન્ટરથી 25 મીમી ઉપર 20±1 °C, 40–60% RH પર માપવામાં આવી.

અરજીઓ

સેમિકન્ડક્ટર લિથોગ્રાફી, નિરીક્ષણ અને વેફર હેન્ડલિંગ
સૂક્ષ્મ/નેનો ફેબ્રિકેશન અને ચોકસાઇ મેટ્રોલોજી
ઉચ્ચ કક્ષાના ઓપ્ટિક્સ ઉત્પાદન અને ઇન્ટરફેરોમેટ્રી
એરોસ્પેસ અને અદ્યતન વૈજ્ઞાનિક સંશોધન

વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો - સિલિકોન કાર્બાઇડ એર-બેરિંગ સ્ટેજ

૧. હવા-વાહક તબક્કો શું છે?

હવા-વાહક સ્ટેજ સ્ટેજ અને માર્ગદર્શિકા વચ્ચે દબાણયુક્ત હવાની પાતળી ફિલ્મનો ઉપયોગ કરે છે જેથીઘર્ષણ રહિત, ઘસારો રહિત અને અતિ-સરળ ગતિપરંપરાગત યાંત્રિક બેરિંગ્સથી વિપરીત, તે સ્ટીક-સ્લિપને દૂર કરે છે, નેનોમીટર-સ્તરની ચોકસાઈ પ્રદાન કરે છે, અને લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતાને ટેકો આપે છે.

2. સ્ટેજ સ્ટ્રક્ચર માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) નો ઉપયોગ શા માટે કરવો?

ઉચ્ચ કઠોરતા: ~5× એલ્યુમિનિયમ એલોય જેટલું, ગતિશીલ ગતિ દરમિયાન વિકૃતિ ઘટાડે છે.
ઓછું થર્મલ વિસ્તરણ: એલ્યુમિનિયમ કરતાં ~5× ઓછું, તાપમાનના ફેરફારો હેઠળ ચોકસાઈ જાળવી રાખે છે.
હલકો: સ્ટીલની તુલનામાં ઓછી ઘનતા, જે હાઇ-સ્પીડ અને હાઇ-એક્સિલરેશન કામગીરીને સક્ષમ બનાવે છે.
ઉત્તમ સ્થિરતા: અતિ-ચોકસાઇ સ્થિતિ માટે સુપિરિયર ડેમ્પિંગ અને કઠોરતા.

૩. શું સ્ટેજને લુબ્રિકેશન અથવા જાળવણીની જરૂર છે?

પરંપરાગત લુબ્રિકેશનની જરૂર નથી કારણ કે ત્યાં છેકોઈ યાંત્રિક સંપર્ક નહીંભલામણ કરેલ જાળવણીમાં શામેલ છે:

પુરવઠોસ્વચ્છ, સૂકી સંકુચિત હવા અથવા નાઇટ્રોજન
ફિલ્ટર અને ડ્રાયર્સનું સમયાંતરે નિરીક્ષણ
કેબલ્સ અને કૂલિંગ સિસ્ટમ્સનું નિરીક્ષણ

4. હવા પુરવઠાની જરૂરિયાતો શું છે?

ઝાકળ બિંદુ: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
કણ ગાળણ: ≤ 0.25 μm
સ્વચ્છ, સૂકી હવા અથવા ૯૯.૯૯% શુદ્ધ નાઇટ્રોજન
ન્યૂનતમ વધઘટ સાથે સ્થિર દબાણ

અમારા વિશે

XKH ખાસ ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ અને નવી ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના હાઇ-ટેક વિકાસ, ઉત્પાદન અને વેચાણમાં નિષ્ણાત છે. અમારા ઉત્પાદનો ઓપ્ટિકલ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ, કન્ઝ્યુમર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને લશ્કરી સેવા આપે છે. અમે સેફાયર ઓપ્ટિકલ ઘટકો, મોબાઇલ ફોન લેન્સ કવર, સિરામિક્સ, LT, સિલિકોન કાર્બાઇડ SIC, ક્વાર્ટઝ અને સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વેફર્સ ઓફર કરીએ છીએ. કુશળ કુશળતા અને અત્યાધુનિક સાધનો સાથે, અમે બિન-માનક ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં શ્રેષ્ઠ છીએ, જેનો હેતુ અગ્રણી ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ બનવાનો છે.