6 ઇંચ ગેએન-ઓન-સેફાયર
સિલિકોન/સેફાયર/SiC એપી-લેયર વેફર ગેલિયમ નાઈટ્રાઈડ એપિટેક્સિયલ વેફર પર 150mm 6inch GaN
6-ઇંચ નીલમ સબસ્ટ્રેટ વેફર એ ઉચ્ચ ગુણવત્તાની સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી છે જેમાં નીલમ સબસ્ટ્રેટ પર ઉગાડવામાં આવેલા ગેલિયમ નાઇટ્રાઇડ (GaN) ના સ્તરોનો સમાવેશ થાય છે.સામગ્રીમાં ઉત્તમ ઇલેક્ટ્રોનિક પરિવહન ગુણધર્મો છે અને તે ઉચ્ચ-શક્તિ અને ઉચ્ચ-આવર્તન સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના ઉત્પાદન માટે આદર્શ છે.
ઉત્પાદન પદ્ધતિ: ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં મેટલ-ઓર્ગેનિક કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (MOCVD) અથવા મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સી (MBE) જેવી અદ્યતન તકનીકોનો ઉપયોગ કરીને નીલમ સબસ્ટ્રેટ પર GaN સ્તરો ઉગાડવાનો સમાવેશ થાય છે.ઉચ્ચ ક્રિસ્ટલ ગુણવત્તા અને એકસમાન ફિલ્મની ખાતરી કરવા માટે ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા નિયંત્રિત પરિસ્થિતિઓ હેઠળ હાથ ધરવામાં આવે છે.
6 ઇંચની ગેએન-ઓન-સેફાયર એપ્લિકેશન્સ: 6-ઇંચની નીલમ સબસ્ટ્રેટ ચિપ્સનો ઉપયોગ માઇક્રોવેવ કોમ્યુનિકેશન્સ, રડાર સિસ્ટમ્સ, વાયરલેસ ટેક્નોલોજી અને ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક્સમાં વ્યાપકપણે થાય છે.
કેટલીક સામાન્ય એપ્લિકેશનોનો સમાવેશ થાય છે
1. આરએફ પાવર એમ્પ્લીફાયર
2. એલઇડી લાઇટિંગ ઉદ્યોગ
3. વાયરલેસ નેટવર્ક સંચાર સાધનો
4. ઉચ્ચ તાપમાનના વાતાવરણમાં ઇલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણો
5. ઓપ્ટોઈલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણો
ઉત્પાદન સ્પષ્ટીકરણો
- કદ: સબસ્ટ્રેટનો વ્યાસ 6 ઇંચ (આશરે 150 મીમી) છે.
- સપાટીની ગુણવત્તા: શ્રેષ્ઠ અરીસાની ગુણવત્તા પ્રદાન કરવા માટે સપાટીને બારીક પોલિશ કરવામાં આવી છે.
- જાડાઈ: GaN સ્તરની જાડાઈ ચોક્કસ જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.
- પેકેજિંગ: પરિવહન દરમિયાન નુકસાન અટકાવવા સબસ્ટ્રેટને એન્ટિ-સ્ટેટિક સામગ્રીઓથી કાળજીપૂર્વક પેક કરવામાં આવે છે.
- પોઝિશનિંગ કિનારીઓ: સબસ્ટ્રેટમાં ચોક્કસ પોઝિશનિંગ કિનારીઓ હોય છે જે ઉપકરણની તૈયારી દરમિયાન ગોઠવણી અને કામગીરીને સરળ બનાવે છે.
- અન્ય પરિમાણો: વિશિષ્ટ પરિમાણો જેમ કે પાતળાપણું, પ્રતિરોધકતા અને ડોપિંગ સાંદ્રતા ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર ગોઠવી શકાય છે.
તેમની શ્રેષ્ઠ સામગ્રી ગુણધર્મો અને વિવિધ એપ્લિકેશનો સાથે, 6-ઇંચના નીલમ સબસ્ટ્રેટ વેફર્સ વિવિધ ઉદ્યોગોમાં ઉચ્ચ-પ્રદર્શન સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના વિકાસ માટે વિશ્વસનીય પસંદગી છે.
| સબસ્ટ્રેટ | 6” 1mm <111> p-type Si | 6” 1mm <111> p-type Si |
| એપી જાડાઈ સરેરાશ | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| નમન | +/-45um | +/-45um |
| ક્રેકીંગ | <5 મીમી | <5 મીમી |
| વર્ટિકલ BV | >1000V | >1400V |
| HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
| HEMT જાડું સરેરાશ | 20-30nm | 20-30nm |
| Insitu SiN કેપ | 5-60nm | 5-60nm |
| 2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| ગતિશીલતા | ~2000 સે.મી2/વિ (<2%) | ~2000 સે.મી2/વિ (<2%) |
| રૂ | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |
વિગતવાર ડાયાગ્રામ
