આપણે વેફરને "અલ્ટ્રા-થિન" કેવી રીતે પાતળું કરી શકીએ?

આપણે વેફરને "અલ્ટ્રા-થિન" કેવી રીતે પાતળું કરી શકીએ?
અલ્ટ્રા-થિન વેફર ખરેખર શું છે?

લાક્ષણિક જાડાઈ શ્રેણીઓ (ઉદાહરણ તરીકે 8″/12″ વેફર્સ)

• માનક વેફર:૬૦૦–૭૭૫ માઇક્રોન

• પાતળું વેફર:૧૫૦-૨૦૦ માઇક્રોન

• અતિ-પાતળું વેફર:૧૦૦ μm થી નીચે

• અત્યંત પાતળું વેફર:૫૦ μm, ૩૦ μm, અથવા તો ૧૦-૨૦ μm

વેફર્સ પાતળા કેમ થઈ રહ્યા છે?

• એકંદર પેકેજ જાડાઈ ઘટાડો, TSV લંબાઈ ટૂંકી કરો અને RC વિલંબ ઓછો કરો

• પ્રતિકાર ઘટાડો અને ગરમીના વિસર્જનમાં સુધારો કરો

• અતિ-પાતળા ફોર્મ પરિબળો માટે અંતિમ-ઉત્પાદન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરો

અતિ-પાતળા વેફરના મુખ્ય જોખમો

1. યાંત્રિક શક્તિમાં તીવ્ર ઘટાડો થાય છે

2. ગંભીર યુદ્ધ

3. મુશ્કેલ હેન્ડલિંગ અને પરિવહન

4. આગળની બાજુની રચનાઓ ખૂબ જ સંવેદનશીલ હોય છે; વેફર ક્રેકીંગ/તૂટવાની સંભાવના ધરાવે છે.

આપણે વેફરને અતિ-પાતળા સ્તર સુધી કેવી રીતે પાતળું કરી શકીએ?

1. DBG (ગ્રાઇન્ડીંગ પહેલાં ડાઇસિંગ)
   વેફરને આંશિક રીતે કાપ્યા વિના કાપો જેથી દરેક ડાઇ પહેલાથી વ્યાખ્યાયિત થાય જ્યારે વેફર પાછળની બાજુથી યાંત્રિક રીતે જોડાયેલ રહે. પછી જાડાઈ ઘટાડવા માટે વેફરને પાછળની બાજુથી પીસી લો, ધીમે ધીમે બાકી રહેલા ન કાપેલા સિલિકોનને દૂર કરો. આખરે, છેલ્લું પાતળું સિલિકોન સ્તર ગ્રાઉન્ડ થાય છે, જે સિંગલેશન પૂર્ણ કરે છે.

2. તાઈકો પ્રક્રિયા
   વેફરના મધ્ય ભાગને જ પાતળો કરો, જ્યારે ધારનો વિસ્તાર જાડો રાખો. જાડી કિનાર યાંત્રિક ટેકો પૂરો પાડે છે, જે વોરપેજ અને હેન્ડલિંગ જોખમ ઘટાડવામાં મદદ કરે છે.

3. કામચલાઉ વેફર બંધન
   કામચલાઉ બંધન વેફરને a પર જોડે છેકામચલાઉ વાહક, અત્યંત નાજુક, ફિલ્મ જેવા વેફરને મજબૂત, પ્રક્રિયા કરી શકાય તેવા એકમમાં ફેરવે છે. વાહક વેફરને ટેકો આપે છે, આગળની બાજુની રચનાઓનું રક્ષણ કરે છે, અને થર્મલ તાણ ઘટાડે છે - પાતળા થવાને સક્ષમ બનાવે છેદસ માઇક્રોનજ્યારે હજુ પણ TSV રચના, ઇલેક્ટ્રોપ્લેટિંગ અને બોન્ડિંગ જેવી આક્રમક પ્રક્રિયાઓને મંજૂરી આપે છે. તે આધુનિક 3D પેકેજિંગ માટે સૌથી મહત્વપૂર્ણ સક્ષમ તકનીકોમાંની એક છે.